[发明专利]激光加工装置

说明书

技术区域

本发明涉及激光加工装置。

背景技术

作为现有的激光加工装置，已知有以聚光点上的激光的强度超过加工阈值，并且聚光点上的剖面形状成为椭圆形状等的长条形状的方式，将激光照射在加工对象物的装置(例如参照专利文献1、2)。

专利文献

专利文献1：日本特表平10-506087号公报

专利文献2：日本特开2007-75886号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述那样的激光加工装置，因为对于加工对象物可以以沿一个方向延伸的方式形成加工区域，所以非常有效，期待进一步的技术开发。

本发明是有鉴于上述的课题而完成的发明，其目的在于，提供一种可以将加工区域形成为所期望的形状的激光加工装置。

解决课题的技术手段

为了达成上述目的，本发明所涉及的激光加工装置，其特征在于，具备：激光光源，射出激光；支撑台，支撑加工对象物；第1光学系统，具有使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散或收束的功能，使从激光光源射出的激光在规定的方向上发散或收束；第2光学系统，具有使平行光收束在光轴上的一点的功能，使从第1光学系统射出的激光在与光轴垂直的第1方向上收束在第1点，使从第1光学系统射出的激光在与光轴和第1方向垂直的第2方向上收束在第2点；调节机构，至少在第1方向上调节入射至第2光学系统的激光的发散角或收束角；以及移动机构，以至少第2点位于加工对象物的外表面或内部的方式，使支撑台相对于第2光学系统沿着光轴相对地移动。

在该激光加工装置中，激光的剖面形状在第1点成为在第2方向上延伸的长条形状，在第2点成为在第1方向上延伸的长条形状，但是，入射至第2光学系统的激光的发散角或收束角至少在第1方向上被调节，从而至少在第2点调节激光的剖面形状的第1方向的长度。因此，通过移动机构，至少使第2点位于加工对象物的外表面或内部，从而在加工对象物的外表面或内部，在第2点所位于的部分，能够形成在第1方向上延伸所期望的长度的长条形状的加工区域。因此，根据该激光加工装置，可以将加工区域形成为所期望的形状。

另外，优选，移动机构在加工对象物对激光具有吸收性的情况下，以第2点位于加工对象物的外表面的方式，使支撑台相对于第2光学系统沿着光轴相对地移动。在此情况下，在加工对象物的外表面的第2点所位于的部分可以可靠地形成加工区域。或者，优选，移动机构在加工对象物对激光具有透过性的情况下，以第1点位于加工对象物的外部且第2点位于加工对象物的外表面或内部的方式，使支撑台相对于第2光学系统沿着光轴相对地移动。在此情况下，可以在加工对象物的外表面或内部的第2点所位于的部分可靠地形成加工区域。

另外，优选，移动机构使支撑台相对于第2光学系统在第1方向上相对地移动。在此情况下，因为加工区域成为在第1方向上延伸的长条形状，所以可以沿着与第1方向平行的加工线在加工对象物的外表面或内部效率良好地形成加工区域。或者，优选，移动机构使支撑台相对于第2光学系统在第2方向上相对地移动。在此情况下，因为加工区域成为在第1方向上延伸的长条形状，所以可以沿着与第1方向垂直的加工线在加工对象物的外表面或内部形成宽度宽的加工区域。

另外，在第1光学系统和第2光学系统之间的光轴上，配置有反射激光的光学构件，光学构件优选为使用于观察加工对象物的观察光透过。根据该构成，不会受到第1光学系统的影响，经由具有使平行光收束在光轴上的一点的功能的第2光学系统，可以观察加工对象物。

另外，调节机构优选为在第1光学系统和第2光学系统之间的光路上，使第1方向的间隔可变，使激光的第1方向的间隔变化的狭缝，或者，调节机构优选为在激光光源和第1光学系统之间的光路上，使激光的第1方向的间隔变化的光学系统。

发明的效果

根据本发明，可以将加工区域形成为所期望的形状。

附图说明

图1为本发明所涉及的激光加工装置的一个实施方式的结构图。

图2为显示图1的激光加工装置中的激光的光路的图。

图3为显示图1的激光加工装置中的激光的光路的图。

图4为显示图1的激光加工装置中的激光的光路的图。

图5为显示通过图1的激光加工装置形成加工区域的加工对象物的图。

图6为显示通过本发明所涉及的激光加工装置的实施例形成裂纹区域的加工对象物的照片的图。

图7为显示本发明所涉及的激光加工装置的其它的实施方式中的激光的光路的图。