[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，

具备：

激光光源，射出激光；

支撑台，支撑加工对象物；

第1光学系统，具有使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散或收束的功能，使从所述激光光源射出的所述激光在所述规定的方向上发散或收束；

第2光学系统，具有使平行光收束在光轴上的一点的功能，使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴垂直的第1方向上收束在第1点，使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴以及所述第1方向垂直的第2方向上收束在第2点；

调节机构，至少在第1方向上调节入射至所述第2光学系统的所述激光的发散角或收束角；以及

移动机构，以至少所述第2点位于所述加工对象物的外表面或内部的方式，使所述支撑台相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述移动机构在所述加工对象物对所述激光具有吸收性的情况下，以所述第2点位于所述加工对象物的外表面的方式，使所述支撑台相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动。

3.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述移动机构在所述加工对象物对所述激光具有透过性的情况下，以所述第1点位于所述加工对象物的外部且所述第2点位于所述加工对象物的外表面或内部的方式，使所述支撑台相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动。

4.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述移动机构使所述支撑台相对于所述第2光学系统在所述第1方向上相对地移动。

5.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述移动机构使所述支撑台相对于所述第2光学系统在所述第2方向上相对地移动。

6.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

在所述第1光学系统和所述第2光学系统之间的光轴上，配置有反射所述激光的光学构件，

所述光学构件使用于观察所述加工对象物的观察光透过。

7.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述调节机构是狭缝，所述狭缝在所述第1光学系统和所述第2光学系统之间的光路上，使所述第1方向的间隔可变，使所述激光的所述第1方向的间隔变化。

8.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述调节机构是光学系统，所述光学系统在所述激光光源和所述第1光学系统之间的光路上，使所述激光的所述第1方向的间隔变化。