[发明专利]对准系统、对准系统的控制方法、程序以及测定装置

摘要

提供一种能够在短时间内简单且高精度地测定被检查透镜的透射波阵面的测定装置、用于其的对准系统、对准系统的控制方法和程序。对准系统(40)被用于具有干涉仪(20)且测定被检查透镜(10)的透射波阵面的测定装置(1)，将被检查透镜(10)的聚光点(CP)与反射型球面标准原器(27)的球心进行对位，所述对准系统具有使载置被检查透镜(10)的载置台(25)移动的移动部(50)和计算机(60)，并且具有根据所设定的移动方向和移动量来控制移动部(50)的移动控制模块(70)，在方向判断模块(64)判断为实际上明暗区域(16)的中心(17)向离开检测区域(29a)的中心(29b)的方向移动的情况下，移动控制模块(70)将所设定的移动方向重新设定为相反方向，并且控制移动部(50)以使载置台(25)向重新设定的移动方向移动。

主权项

一种对准系统，被使用于对被检查透镜的透射波阵面进行测定的测定装置，该测定装置具有干涉仪，该干涉仪利用摄像设备检测由测定光和来自参照面的参照光形成的干涉条纹，其中所述测定光是来自光源的光通过所述被检查透镜后由反射型球面标准原器反射、并再次通过所述被检查透镜而生成的光，所述对准系统将所述被检查透镜的聚光点与所述反射型球面标准原器的球心进行对位，其特征在于，所述对准系统具有：移动部，使载置所述被检查透镜的载置台移动；和计算机，控制所述移动部对所述载置台进行的移动，其中，所述计算机具有：明暗区域识别模块，在所述摄像设备的摄像面的检测所述干涉条纹的检测区域内，识别具有阈值以上的亮度且比所述被检查透镜的面积小的明暗区域；移动控制模块，设定所述载置台应移动的移动方向和移动量，根据所设定的所述移动方向和所述移动量来控制所述移动部；和方向判断模块，判断所设定的位置是接近所述检测区域的中心还是离开所述检测区域的中心，其中，在按照所述移动控制模块进行所述设定的移动方向移动了所述载置台的结果，在所述方向判断模块判断为所述明暗区域的中心向从所述检测区域的中心离开的方向移动的情况下，所述移动控制模块将所述设定的移动方向重新设定为相反方向，并按照重新设定的移动方向控制所述移动部。