[发明专利]对准系统、对准系统的控制方法、程序以及测定装置

权利要求书

1.一种对准系统，被使用于对被检查透镜的透射波阵面进行测定的测定装置，该测定装置具有干涉仪，该干涉仪利用摄像设备检测由测定光和来自参照面的参照光形成的干涉条纹，其中所述测定光是来自光源的光通过所述被检查透镜后由反射型球面标准原器反射、并再次通过所述被检查透镜而生成的光，所述对准系统将所述被检查透镜的聚光点与所述反射型球面标准原器的球心进行对位，其特征在于，所述对准系统具有：

移动部，使载置所述被检查透镜的载置台移动；和

计算机，控制所述移动部对所述载置台进行的移动，

其中，所述计算机具有：

明暗区域识别模块，在所述摄像设备的摄像面的检测所述干涉条纹的检测区域内，识别具有阈值以上的亮度且比所述被检查透镜的面积小的明暗区域；

移动控制模块，设定所述载置台应移动的移动方向和移动量，根据所设定的所述移动方向和所述移动量来控制所述移动部；和

方向判断模块，判断所设定的位置是接近所述检测区域的中心还是离开所述检测区域的中心，

其中，在按照所述移动控制模块进行所述设定的移动方向移动了所述载置台的结果，在所述方向判断模块判断为所述明暗区域的中心向从所述检测区域的中心离开的方向移动的情况下，所述移动控制模块将所述设定的移动方向重新设定为相反方向，并按照重新设定的移动方向控制所述移动部。

2.如权利要求1所述的对准系统，其特征在于，

所述移动控制模块将所述设定的移动方向重新设定为相反方向时，重新设定上次的移动量的2倍的移动量。

3.如权利要求1所述的对准系统，其特征在于，

所述移动控制模块还具有：

初始距离设定模块，设定所述聚光点在初始状态下沿着光路从所述反射型球面标准原器离开的初始距离；

第1移动量设定模块，对在所述摄像面中所述设定的位置与所述检测区域的中心的距离以下的第1移动量进行设定；和

第2移动量设定模块，根据所述第1移动量，设定使所述设定的位置移动由所述第1移动量设定模块设定的所述第1移动量这样的、由所述移动部要移动的所述载置台的第2移动量，

其中，所述明暗区域识别模块在所述移动控制模块使所述移动部移动了由所述初始距离设定模块设定的所述初始距离的状态下，开始进行识别。

4.如权利要求3所述的对准系统，其特征在于，

所述计算机还具有识别率计算模块，该识别率计算模块计算用所述检测区域的面积与由所述明暗区域识别模块所识别的所述明暗区域的面积之比来表示的识别率，

在所述设定的位置是所述明暗区域的中心的情况下，所述识别率计算模块计算出的所述识别率越高，所述第1移动量设定模块将所述第1移动量设定得越小。

5.如权利要求1所述的对准系统，其特征在于，

所述移动控制模块具有：

水平移动控制模块，控制所述移动部，以使所述载置台在与所述摄像面对应的平面内移动；和

垂直移动控制模块，控制所述移动部，以使所述载置台向与所述平面垂直的方向移动，

所述计算机还具有水平方向对位判断模块，该水平方向对位判断模块判断在所述平面中所述设定的位置与所述检测区域的中心的距离是否在允许范围内，

所述水平移动控制模块继续由所述移动部进行的移动，直到所述水平方向对位判断模块判断为在所述平面中所述设定的位置与所述检测区域的中心的距离在所述允许范围内，

当所述水平方向对位判断模块判断为在所述平面中所述设定的位置与所述检测区域的中心的距离在所述允许范围内时，所述垂直移动控制模块使所述移动部移动，以使所述明暗区域直至所述检测区域内的设定范围为止扩大到被识别为所述干涉条纹的程度。