[发明专利]弯曲振动片、弯曲振子以及压电器件无效
| 申请号： | 200980142077.X | 申请日： | 2009-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN102197592A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚;舟川刚夫;山崎隆 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社;爱普生拓优科梦株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/187;H01L41/22;H03B5/32;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明抑制起因于热弹性效应的Q值劣化。第1槽部(15)的第1深度(d1)和第2槽部(16)的第2深度(d2)小于包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间的距离，因而第1槽部(15)和第2槽部(16)不会贯通包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间。并且，第1槽部(15)的第1深度(d1)与第2槽部(16)的第2深度(d2)之和大于第3面(13)与第4面(14)之间的距离，因而第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径不会形成为直线。这样，能够使第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径在第1槽部(15)和第2槽部(16)中迂回而变长。 | ||
| 搜索关键词： | 弯曲 振动 以及 压电 器件 | ||
【主权项】：
一种弯曲振动片，其特征在于，所述弯曲振动片具有基部和从所述基部起延伸的振动部，所述振动部具有彼此相对的第1主面和第2主面、形成于所述第1主面的第1槽部、以及形成于所述第2主面的第2槽部，在从所述第1主面的法线方向观察的平面图中，所述第1槽部和所述第2槽部沿与所述延伸的方向垂直的方向排列，所述第1槽部的第1深度和所述第2槽部的第2深度小于所述第1主面与所述第2主面之间的所述法线方向的距离，而且，所述第1深度与所述第2深度之和大于所述距离。
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