[实用新型]真空溅射镀膜设备用电源切换装置无效
| 申请号： | 200920299423.2 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN201584682U | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 汪洪波;王君;杨林生 | 申请（专利权）人： | 汪洪波 |
| 主分类号： | H02B13/00 | 分类号： | H02B13/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安徽省合肥市包*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空溅射镀膜设备用电源切换装置，其特征是溅射源控制按钮设置在箱体前面板上，输入端子、输出端子和控制线端子分别设置在箱体后面板上，箱体由金属隔板分隔为上层射频区域和下层控制区域，各继电器固定设置在金属隔板上，继电器中强电端位于上层射频区域中，弱电控制端位于下层控制区域中；在继电器强电端、输入端子和输出端子之间按照设定的逻辑顺序通过紫铜片连接；在继电器弱电控制端与控制线端子以及溅射源控制按钮之间通过电缆线按设定逻辑顺序连接。本实用新型可以有效提高溅射电源、磁控溅射源的利用率，提高溅射镀膜设备操作的方便性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 溅射 镀膜 备用 电源 切换 装置 | ||
【主权项】：
真空溅射镀膜设备用电源切换装置，其特征是设置包括有前面板(2)和后面板(6)的箱体(14)，溅射源控制按钮(1)设置在箱体的前面板(2)上，输入端子(7)、输出端子(8)和控制线端子(9)设置在箱体的后面板(6)上，所述箱体(14)由金属隔板(3)分隔为上层射频区域(5)和下层控制区域(11)，各继电器(12)固定设置在金属隔板(3)上，继电器(12)中的强电端(4)位于上层射频区域(5)中，继电器(12)的弱电控制端(13)位于下层控制区域(11)中；在所述继电器(12)的强电端(4)、输入端子(7)和输出端子(8)之间按照设定的逻辑顺序通过紫铜片进行连接；在所述继电器(12)的弱电控制端(13)与控制线端子(9)以及溅射源控制按钮(1)之间通过电缆线按设定的逻辑顺序相连接。
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