[实用新型]真空溅射镀膜设备用电源切换装置

说明书

技术领域

本实用新型所涉及一种电源切换装置，更具体地说是一种可用于磁控溅射镀膜设备及类似气相沉积设备中，使用相同类型电源为多个不同时工作的溅射源或使用不同类型电源，在电源与电源使用对象，如磁控溅射源之间的切换。

背景技术

真空溅射镀膜设备，尤其是科研院所、大专院校用于教学、研究用的设备，由于涉及的膜系种类繁多，往往需要采用多个磁控溅射源及多种类型的电源，如直流、中频和射频等。在试验操作过程中，对于确定的磁控溅射源，在制备金属薄膜时，需要使用直流磁控溅射电源；在制备介质薄膜时，需使用中频或射频电源。这样会涉及到同一个溅射源在使用不同电源时需要进行切换的问题。另一方面，如果溅射源的数量增多，但工艺上进行分析后又不需同时工作，而目前单台溅射电源往往仅能为一个或两个溅射源提供切换，通常情况下需要通过手动插拔连接电缆线来进行切换操作，这显然增加了操作上带来的不便，并且经常插拔电缆线可能会损坏零部件，配置多台电源则会增加成本。

实用新型内容

本实用新型是为避免上述现有技术所存在的不足之处，提供一种真空溅射镀膜设备用电源切换装置，以期提高溅射电源、磁控溅射源的利用率，提高溅射镀膜设备操作的方便性和自动化程度。

本实用新型解决技术问题采用如下技术方案：

本实用新型真空溅射镀膜设备用电源切换装置的结构特点是设置包括有前面板和后面板的箱体，溅射源控制按钮设置在前面板上，输入端子、输出端子和控制线端子分别设置在后面板上，所述箱体由金属隔板分隔为上层射频区域和下层控制区域，各继电器固定设置在金属隔板上，继电器中的强电端位于上层射频区域中，继电器的弱电控制端位于下层控制区域中；在所述继电器的强电端、输入端子和输出端子之间按照设定的逻辑顺序通过紫铜片进行连接；在所述继电器的弱电控制端与控制线端子以及溅射源控制按钮之间通过电缆线按设定的逻辑顺序相连接。

本实用新型的结构特点也在于在所述箱体的后面板上设置有PLC控制端子。

与已有技术相比，本实用新型有益效果体现在：

本实用新型可以有效提高溅射电源、磁控溅射源的利用率，提高溅射镀膜设备操作的方便性。比如，在四个溅射源中每一时刻最多仅两个溅射源同时工作时，利用本实用新型只要配备两台电源即可满足使用要求。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型继电器接线示意图。

图3、图4和图5为本实用新型不同工作状态下的接线示意图。

图中标号：1溅射源控制按钮；2前面板；3金属隔板；4强电端；5上层射频区域；6后面板；7输入端子；8输出端子；9控制线端子；10为PLC控制端子；11下层控制区域；12继电器；13弱电控制端子；14箱体。

具体实施方式

参见图1，本实施例中的真空溅射镀膜设备用电源切换装置的结构特点是设置包括有前面板2和后面板6的箱体14，溅射源控制按钮1设置在前面板2上，输入端子7、输出端子8、控制线端子9以及PLC控制端子10分别设置在后面板6上，箱体14由金属隔板3分隔为上层射频区域5和下层控制区域11，各继电器12固定设置在金属隔板3上，继电器12中的强电端4位于上层射频区域5中，继电器12的弱电控制端13位于下层控制区域11中；在继电器12的强电端4、输入端子7和输出端子8之间按照设定的逻辑顺序通过紫铜片进行连接；在继电器12的弱电控制端13与控制线端子9以及溅射源控制按钮1之间通过电缆线按设定的逻辑顺序相连接。

本实施例中，金属隔板3可以保证上层射频区域5和下层控制区域11之间的电气绝缘，控制线端子9和PLC控制端子10均安装在后面板6的下层；输入端子7和输出端子8均安装在后面板6的上层；电源信号从后面板6的输入端子7输入，并用紫铜片连接到继电器12的强电端4上，再经紫铜片连接到输出端子8输出；控制信号从控制线端子9输入，并按设定的逻辑顺序用连接电缆线分别连接到各个继电器的弱电控制端子13和前面板2上相应的溅射源控制按钮1上，通过溅射源控制按钮1可以使得相关的继电器的触点闭合或断开，从而控制相应溅射源与电源的接通或断开。

此外，后面板6上预留的PLC控制端子10可供远程控制功能扩展用；在输出端子8上采用平波电感和滤波电容来消除切换过程中带来的噪声干扰，输入端子7、输出端子8及紫铜片之间的距离要满足电气绝缘要求。

在切换时，如需从正通电状态的溅射源切换至另一待通电的溅射源，则必须先断开此时正在通电的溅射源控制按钮，才能接通带通电的溅射源控制按钮。