[实用新型]真空溅射镀膜设备用电源切换装置无效
| 申请号： | 200920299423.2 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN201584682U | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 汪洪波;王君;杨林生 | 申请（专利权）人： | 汪洪波 |
| 主分类号： | H02B13/00 | 分类号： | H02B13/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安徽省合肥市包*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 溅射 镀膜 备用 电源 切换 装置 | ||
【权利要求书】：
1.真空溅射镀膜设备用电源切换装置，其特征是设置包括有前面板(2)和后面板(6)的箱体(14)，溅射源控制按钮(1)设置在箱体的前面板(2)上，输入端子(7)、输出端子(8)和控制线端子(9)设置在箱体的后面板(6)上，所述箱体(14)由金属隔板(3)分隔为上层射频区域(5)和下层控制区域(11)，各继电器(12)固定设置在金属隔板(3)上，继电器(12)中的强电端(4)位于上层射频区域(5)中，继电器(12)的弱电控制端(13)位于下层控制区域(11)中；在所述继电器(12)的强电端(4)、输入端子(7)和输出端子(8)之间按照设定的逻辑顺序通过紫铜片进行连接；在所述继电器(12)的弱电控制端(13)与控制线端子(9)以及溅射源控制按钮(1)之间通过电缆线按设定的逻辑顺序相连接。
2.根据权利要求1所述的真空溅射镀膜设备用电源切换装置，其特征是在所述箱体的后面板(6)上设置有PLC控制端子(10)。
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