[实用新型]单晶炉热场

摘要

本实用新型涉及单晶炉热场设计技术领域，尤其是一种单晶炉热场，其包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒，保温筒内圈设有加热器，加热器的内腔设置有由埚杆支撑的三瓣埚，三瓣埚与埚杆之间安装有贴于三瓣埚底的埚托，加热器的底部通过电极螺栓固定在炉体的底盘上，炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒，所述的导流筒分为内导流筒与外导流筒，内导流筒的锥度为0.52～0.63，外导流筒的锥度为0.16～0.23，三瓣埚的内径为500mm～510mm。本实用新型投料量大，保温性能好，成本低，对市场的适应性灵活。

主权项

一种单晶炉热场，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1)，保温筒(1)内圈设有加热器(2)，加热器(2)的内腔设置有由埚杆(4)支撑的三瓣埚(3)，三瓣埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于三瓣埚(3)底的埚托(3-1)，加热器(2)的底部通过电极螺栓固定在炉体的底盘上，炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒，所述的导流筒分为内导流筒(5)与外导流筒(6)，其特征在于：内导流筒(5)的锥度为0.52～0.63，外导流筒(6)的锥度为0.16～0.23，所述的三瓣埚(3)的内径为500mm～510mm。