[实用新型]单晶炉热场

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其是一种在现有80炉内设计使用20寸热场增加单炉投料量的单晶炉热场。

背景技术

目前，单晶80炉内一般使用的是18寸的热场，热场内的三瓣埚内径尺寸一般为457mm，最大装料量单晶炉一次55kg。而随着生产水平的提高，对生产设备的需求也在不断加大，所以现有的单晶80炉不仅容量不能满足生产需求，而且生产成本高，不能灵活地适应市场需求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有单晶80炉容量不大、适应性差的技术问题，本实用新型提供一种单晶炉热场。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶炉热场，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒，保温筒内圈设有加热器，加热器的内腔设置有由埚杆支撑的三瓣埚，三瓣埚与埚杆之间安装有贴于三瓣埚底的埚托，加热器的底部通过电极螺栓固定在炉体的底盘上，炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒，所述的导流筒分为内导流筒与外导流筒，内导流筒的锥度为0.52～0.63，外导流筒的锥度为0.16～0.23，扩大了导流筒中间的保温层，可以降低功率，提高拉速，三瓣埚的内径为500mm～510mm，提高了三瓣埚的最大投料量。

为了使单晶炉热场容量更大，加热器的外径与保温筒的内径配合，三瓣埚的外径与加热器的内径配合。

为了更好的提高保温效果，保温筒上还设置有保温罩。

本实用新型的有益效果是，本实用新型一方面增加了单晶炉的投料量，将最大装料量从55kg提高到75kg，降低了成本；另一方面本实用新型可以拉制8寸晶棒可以灵活的适应市场的变化，而且保温性能好。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型单晶炉热场的结构示意图。

图中：1.保温筒，2.加热器，3.三瓣埚，3-1.埚托，4.埚杆，5.内导流筒，6.外导流筒。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的本实用新型单晶炉热场的实施例，包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒1，保温筒1内圈设有加热器2，加热器2的内腔设置有由埚杆4支撑的三瓣埚3，三瓣埚3与埚杆4之间安装有贴于三瓣埚4底的埚托3-1，加热器2的底部通过电极螺栓固定在炉体的底盘上，炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒，导流筒分为内导流筒5与外导流筒6，内导流筒5的锥度为0.52～0.63，外导流筒6的锥度为0.16～0.23，三瓣埚3的内径为507mm。

为了使单晶炉容量更大，加热器2的外径与保温筒1的内径配合，三瓣埚3的外径与加热器2的内径配合。

为了更好的提高保温效果，保温筒1上还设置有保温罩。

当单晶炉的投料量为20kg时，单晶炉的成本可降低8.22％。

本实用新型，一方面增加了单晶炉的投料量，将最大装料量从55kg提高到75kg，降低了成本；另一方面本实用新型可以拉制8寸晶棒，可以灵活的适应市场的变化。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。