[实用新型]单晶炉热场有效
申请号: | 200920282722.5 | 申请日: | 2009-12-28 |
公开(公告)号: | CN201593072U | 公开(公告)日: | 2010-09-29 |
发明(设计)人: | 杨晓忠;王伟;孙崇良;戴秋平 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉热场 | ||
1.一种单晶炉热场,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1),保温筒(1)内圈设有加热器(2),加热器(2)的内腔设置有由埚杆(4)支撑的三瓣埚(3),三瓣埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于三瓣埚(3)底的埚托(3-1),加热器(2)的底部通过电极螺栓固定在炉体的底盘上,炉体内腔上部设有倒梯形的导流筒,所述的导流筒分为内导流筒(5)与外导流筒(6),其特征在于:内导流筒(5)的锥度为0.52~0.63,外导流筒(6)的锥度为0.16~0.23,所述的三瓣埚(3)的内径为500mm~510mm。
2.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于:所述的加热器(2)的外径与保温筒(1)的内径配合,三瓣埚(3)的外径与加热器(2)的内径配合。
3.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于:所述的保温筒(1)上还设置有保温罩。
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