[实用新型]一种晶片研磨砂液配制装置无效
申请号: | 200920232185.3 | 申请日: | 2009-09-11 |
公开(公告)号: | CN201493067U | 公开(公告)日: | 2010-06-02 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B01F7/18 | 分类号: | B01F7/18 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 张惠忠 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶片研磨砂液配制装置,包括配砂筒以及机械搅拌装置,所述配砂筒设置有投料口以及出料口,且出料口设置有控制阀门,所述机械搅拌装置包括驱动电机以及与驱动电机输出端连接的旋转叶片,所述旋转叶片位于配砂筒内,由此可知,本实用新型通过设置机械搅拌装置,以对投入配砂筒内的组成研磨砂液的各组分进行搅拌,从而可以将保证研磨砂液的各组分混匀,即配砂液的浓度一致,有利于对晶片的研磨加工。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶片 研磨 配制 装置 | ||
【主权项】:
一种晶片研磨砂液配制装置,其特征在于,包括配砂筒以及机械搅拌装置,所述配砂筒设置有投料口以及出料口,且出料口设置有控制阀门,所述机械搅拌装置包括驱动电机以及与驱动电机输出端连接的旋转叶片,所述旋转叶片位于配砂筒内。
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