[实用新型]一种晶片研磨砂液配制装置无效
| 申请号： | 200920232185.3 | 申请日： | 2009-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN201493067U | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/18 | 分类号： | B01F7/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 研磨 配制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶片研磨砂液配制装置，其特征在于，包括配砂筒以及机械搅拌装置，所述配砂筒设置有投料口以及出料口，且出料口设置有控制阀门，所述机械搅拌装置包括驱动电机以及与驱动电机输出端连接的旋转叶片，所述旋转叶片位于配砂筒内。
2.根据权利要求1所述的晶片研磨砂液配制装置，其特征在于，还包括气流搅拌装置，所述气流搅拌装置包括气流输出装置，配砂筒底部附近壁面上设置有进气口，气流输出装置的输出端通过该进气口与配砂筒连接。
3.根据权利要求1或2所述的晶片研磨砂液配制装置，其特征在于，所述控制阀门为球阀。
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