[实用新型]光学显微镜的强光灯有效
| 申请号： | 200920211926.X | 申请日： | 2009-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN201532492U | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 高海林;赵庆国 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;F21S8/00;F21V8/00;F21V14/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种显微镜，尤其涉及一种光学显微镜的强光灯。这种光学显微镜的强光灯，包括发光源装置和光纤线缆，所述发光源装置包括旋转式的发光源座、控制面板及均布于所述发光源座上的若干发光源体及所述发光源座和光纤线缆的入射端通过固定框架相对设置，所述光纤线缆的出射端设置在用于放置晶圆的载物台上方，所述发光源座和所述发光源体分别与所述控制面板连接，所述控制面板控制所述发光源座转动使得需要的发光源体对准所述光纤线缆的入射端。由于光学显微镜的强光灯具有多光源，可根据不同的晶圆选择适用合适光源，便于检测人员查找较小色差缺陷，提高晶圆缺陷检测准确率和效率。通过增设光束发散元件，扩大光源照射在晶圆上的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 显微镜 强光 | ||
【主权项】：
一种光学显微镜的强光灯，包括发光源装置和光纤线缆，其特征在于，所述发光源装置包括旋转式的发光源座、控制面板及均布于所述发光源座上的若干发光源体及，所述发光源座和光纤线缆的入射端通过固定框架相对设置，所述光纤线缆的出射端设置在用于放置晶圆的载物台上方，所述发光源座和所述发光源体分别与所述控制面板连接，所述控制面板控制所述发光源座转动使得需要的发光源体对准所述光纤线缆的入射端。
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