[实用新型]光学显微镜的强光灯有效

专利信息
申请号: 200920211926.X 申请日: 2009-11-05
公开(公告)号: CN201532492U 公开(公告)日: 2010-07-21
发明(设计)人: 高海林;赵庆国 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G02B21/06 分类号: G02B21/06;F21S8/00;F21V8/00;F21V14/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 20120*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 光学 显微镜 强光
【权利要求书】:

1.一种光学显微镜的强光灯,包括发光源装置和光纤线缆,其特征在于,所述发光源装置包括旋转式的发光源座、控制面板及均布于所述发光源座上的若干发光源体及,所述发光源座和光纤线缆的入射端通过固定框架相对设置,所述光纤线缆的出射端设置在用于放置晶圆的载物台上方,所述发光源座和所述发光源体分别与所述控制面板连接,所述控制面板控制所述发光源座转动使得需要的发光源体对准所述光纤线缆的入射端。

2.如权利要求1所述的光学显微镜的强光灯,其特征在于,所述光纤线缆的出射端设有光束发散元件。

3.如权利要求2所述的光学显微镜的强光灯,其特征在于,所述光束发散元件是上、下底面开口的上小下大的内部空心的棱台体,所述棱台体的侧壁通过将光束反射扩大光束的照射面积。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的光学显微镜的强光灯,其特征在于,所述光纤线缆靠近出射端的管段外包硬管,且所述光纤线缆靠近出射端的管段设置有调节控制机构。

5.如权利要求4所述的光学显微镜的强光灯,其特征在于,所述调节控制机构包括手柄、连杆组件和固定架,所述连杆组件包括第一水平连杆、中间连杆和第二水平连杆,所述手柄的下端与固定架的第一支点铰接,所述第一水平连杆的一端与手柄的靠近下端处铰接,所述第一水平连杆的另一端与所述中间连杆的下端铰接,所述中间连杆的上端与所述第二水平连杆的一端铰接,所述第二水平连杆的另一端与所述光纤线缆靠近出射端的管段的上端铰接,所述光纤线缆靠近出射端的管段的靠近上端处与固定架的第二支点铰接。

6.如权利要求5所述的光学显微镜的强光灯,其特征在于,所述固定架包括第一水平支架、竖直支架、第二水平支架和固定支架,所述第一水平支架、竖直支架、第二水平支架分别通过所述固定支架固定,所述第一水平支架的一端为第一支点,所述第一水平支架的另一端与所述竖直支架的下端固定连接,所述竖直支架的上端与所述第二水平支架的一端固定连接,所述第二水平支架的另一端为第二支点。

7.如权利要求5所述的光学显微镜的强光灯,其特征在于,所述第一水平连杆上设有锁紧套,所述锁紧套与所述固定架固定连接,所述第一水平管穿套于所述锁紧套内,所述锁紧套外设有夹紧件。

8.如权利要求7所述的光学显微镜的强光灯,其特征在于,所述夹紧件是夹紧螺栓组件。

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