[实用新型]光学显微镜的强光灯

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种显微镜，尤其涉及一种光学显微镜的强光灯。

背景技术

现行半导体业界内晶圆宏观目检都是通过光学显微镜强光灯进行的，但是在使用过程中发现，目前光学显微镜强光灯存在以下三个缺点：

1、光学显微镜的强光灯只能提供单一的光源。但是对于晶圆而言，不同的产品有不同的感光度，如果只是通过单一光源进行晶圆宏观目检，很可能造成某些色差缺陷不易被发现，从而造成晶圆缺陷漏检情况的发生。

2、光学显微镜的强光灯是通过卤素光纤线缆进行发光的，但是卤素光纤线缆发出来的光源比较集中，所以在晶圆宏观目检过程中只能覆盖到晶圆的晶面或晶背的一小部分区域，不能覆盖晶圆的晶面或晶背的全部区域，因而容易造成因光源不够发散而造成晶圆宏观缺陷漏检的情况发生。

3、控制光学显微镜的强光灯的发光头的光纤线缆外包金属波纹管，由于金属波纹管比较柔软使得发光头的高度不能固定，因而，在实际操作过程中容易因金属波纹管过度向下弯曲，从而造成强光灯发光头致使晶圆破碎事件发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学显微镜的强光灯，该光学显微镜的强光灯具有多光源，可根据不同的晶圆选择适用合适的光源，便于检测人员查找较小色差缺陷，提高晶圆检测效率。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种光学显微镜的强光灯，包括发光源装置和光纤线缆，所述发光源装置包括旋转式的发光源座、控制面板及均布于所述发光源座上的若干发光源体及，所述发光源座和光纤线缆的入射端通过固定框架相对设置，所述光纤线缆的出射端(即发光头)设置在用于放置晶圆的载物台上方，所述发光源座和所述发光源体分别与所述控制面板连接，所述控制面板控制所述发光源座转动使得需要的发光源体对准所述光纤线缆的入射端。

所述光纤线缆的出射端设有光束发散元件。

所述光束发散元件是上、下底面开口的上小下大的内部空心的棱台体，所述棱台体的侧壁通过将光束反射扩大光束的照射面积。

所述光纤线缆靠近出射端的管段外包硬管，所述光纤线缆靠近出射端的管段设置有调节控制机构。

所述调节控制机构包括手柄、连杆组件和固定架，所述连杆组件包括第一水平连杆、中间连杆和第二水平连杆，所述手柄的下端与固定架的第一支点铰接，所述第一水平连杆的一端与手柄的靠近下端处铰接，所述第一水平连杆的另一端与所述中间连杆的下端铰接，所述中间连杆的上端与所述第二水平连杆的一端铰接，所述第二水平连杆的另一端与所述光纤线缆靠近出射端的管段的上端铰接，所述光纤线缆靠近出射端的管段的靠近上端处与固定架的第二支点铰接。

所述固定架包括第一水平支架、竖直支架、第二水平支架和固定支架，所述第一水平支架、竖直支架、第二水平支架分别通过所述固定支架固定，所述第一水平支架的一端为第一支点，所述第一水平支架的另一端与所述竖直支架的下端固定连接，所述竖直支架的上端与所述第二水平支架的一端固定连接，所述第二水平支架的另一端为第二支点。

所述第一水平连杆上设有锁紧套，所述锁紧套与所述固定架固定连接，所述第一水平管穿套于所述锁紧套内，所述锁紧套外设有夹紧件。

所述夹紧件是夹紧螺栓组件。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型光学显微镜的强光灯具有多光源，可根据不同的晶圆选择适用合适的光源，便于检测人员查找较小色差缺陷，提高晶圆缺陷检测准确率和效率。另外，通过在光纤线缆的出射端设置光束发散元件，使光源发散，从而扩大光源照射在晶圆上的面积，避免由于晶圆的晶面或晶背未完全覆盖光源而造成漏检现象，从而进一步提高晶圆缺陷的检测准确性。另外，通过增设调节控制机构，可以调节并固定光纤线缆靠近出射端的管段，并藉此来调节和固定光束发散元件的高度和角度，从而达到最佳的检验晶圆所需的灯光角度效果，同时还可以避免因光束发散元件的高度不固定致使光束发散元件损坏晶圆事件的发生。

附图说明

本实用新型的光学显微镜的强光灯由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型光学显微镜的强光灯的结构示意图；

图2是调节控制机构调整光纤线缆靠近出射端的管段的状态图之一；

图3是调节控制机构调整光纤线缆靠近出射端的管段的状态图之二；