[实用新型]用于研磨垫调整装置的机械臂有效
| 申请号： | 200920208485.8 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201483358U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 邵群 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露了一种用于研磨垫调整装置的机械臂，所述机械臂包括壳体以及设置于所述壳体内的传动装置，所述壳体包括底板以及与该底板匹配的盖子，所述盖子包括至少一个顶壁和沿该顶壁边缘向下延伸的侧壁，其中所述顶壁与水平方向具有倾斜角，所述倾斜的顶壁使得去离子水在其表面容易流动，可有效地去除顶壁上的研磨液或其它颗粒物，并确保顶壁上不会残留去离子水，避免顶壁表面形成污染物，可提高化学机械研磨制程的稳定性，进而提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 研磨 调整 装置 机械 | ||
【主权项】：
一种用于研磨垫调整装置的机械臂，包括壳体以及设置于所述壳体内的传动装置，所述壳体包括底板以及与该底板匹配的盖子，其特征在于，所述盖子包括至少一个顶壁和沿该顶壁边缘向下延伸的侧壁，其中所述顶壁与水平方向具有倾斜角。
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