[实用新型]用于研磨垫调整装置的机械臂有效
| 申请号： | 200920208485.8 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201483358U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 邵群 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 研磨 调整 装置 机械 | ||
1.一种用于研磨垫调整装置的机械臂，包括壳体以及设置于所述壳体内的传动装置，所述壳体包括底板以及与该底板匹配的盖子，其特征在于，所述盖子包括至少一个顶壁和沿该顶壁边缘向下延伸的侧壁，其中所述顶壁与水平方向具有倾斜角。
2.如权利要求1所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述盖子包括一个顶壁，所述顶壁与水平方向形成的倾斜角为1°～10°。
3.如权利要求2所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述盖子的纵截面为直角梯形。
4.如权利要求1所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述盖子包括两个相互对置朝上倾斜的顶壁，所述两个顶壁与水平方向形成的倾斜角均为1°～10°。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述盖子是一体成型的。
6.如权利要求1至4中任意一项所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述盖子通过螺钉与所述底板连接。
7.如权利要求1至4中任意一项所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述底板的形状为矩形。
8.如权利要求1至4中任意一项所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述底板上开设有第一孔和第二孔。
9.如权利要求1至4中任意一项所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述传动装置包括滑轮以及与所述滑轮连接的传送带。
10.如权利要求9所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述研磨垫调整装置还包括与所述传送带连接的头组件。
11.如权利要求10所述的用于研磨垫调整装置的机械臂，其特征在于，所述研磨垫调整装置还包括与所述头组件连接的调整件。
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