[实用新型]单腔双线式真空装置

摘要

本实用新型公开了一种单腔双线式真空装置，可传送一个加工物件前进，并包括：一个具有一腔室的基座、一个将该基座的腔室区隔成一第一通道及一第二通道的冷却区隔单元、两个分别安装在该腔室的第一及第二通道内并且将加工物件由一入口端往一出口端传送的输送机构，以及一个架设在该基座旁并将加工物件由第一通道移送到第二通道的连接机构。借在腔室内架设具有区隔及冷却功能的冷却区隔单元，除了可以将腔室区隔成两条平行的通道，以缩小装置的体积及摆放空间外，还可以降低加工时的制程高温，使真空装置的各项加工顺畅进行。

主权项

1.一种单腔双线式真空装置，用来移送一个加工物件，并包括：一个基座、两个传送机构，以及一个和基座并靠连接的连接机构，该基座包括一个界定出一腔室的腔壁，上述腔壁具有一个第一壁部及一个第二壁部；其特征在于：该真空装置还包括一个安装在该基座的腔室内并且将该腔室分隔成一个靠近第一壁部的第一通道，以及一个靠近第二壁部的第二通道的冷却区隔单元，上述第一通道及第二通道都各别具有一个入口端及一个出口端，而所述输送机构是分别安装在第一通道及第二通道内，并且将加工物件由入口端往出口端移送，该连接机构是将由第一通道的出口端送出的加工物件移送到第二通道的入口端。