[实用新型]曝光机无效
| 申请号: | 200920152257.3 | 申请日: | 2009-04-29 |
| 公开(公告)号: | CN201402366Y | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
| 发明(设计)人: | 吕金水;钟政学 | 申请(专利权)人: | 翊晖科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发;艾 晶 |
| 地址: | 台湾省桃园县杨*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本实用新型曝光机主要在曝光光源组外部设有一出光罩,该出光罩在其相对朝向该曝光平台移动行程的部位设有一长条状的透光槽,以及设有一活动遮光板控制该透光槽开启与否,使得以在该透光槽开启的状态下产生朝向曝光平台移动行程照射的条状光源;再配该曝光平台以预定速度与该出光罩相对位移的方式接受条状光源的照射,进而使该曝光平台上的被加工物完成曝光显影。 | ||
| 搜索关键词: | 曝光 | ||
【主权项】:
1、一种曝光机,其特征在于,包括有:一机台,具有一由机壳所包围构成的曝光室;至少一曝光平台,为供固定被加工物及原稿的透明平台;一输送机组,用以带动该至少一曝光平台相对进出该机台的曝光室;至少一曝光光源组,设在该曝光室内部相对于该曝光平台的移动行程上方或下方位置,每一组曝光光源组具有若干光源用以产生曝光光源;至少一出光罩,设在该至少一曝光光源组外部,其在相对朝向该曝光平台移动行程的部位设有一长条状的透光槽,另设有一活动遮光板控制该透光槽开启与否;一控制电路,供设定、整合该输送机组、该至少一曝光光源组以及该活动遮光板的运作;以及,该曝光光源组的灯泡启动时,其光源可透过该出光罩的透光槽向外照射,使产生朝向该曝光平台移动行程照射的条状光源;再配合该输送机组带动该曝光平台以预定速度与该出光罩相对位移的方式接受该条状光源的照射,使该曝光平台上的被加工物完成曝光显影。
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