[实用新型]曝光机无效
| 申请号: | 200920152257.3 | 申请日: | 2009-04-29 |
| 公开(公告)号: | CN201402366Y | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
| 发明(设计)人: | 吕金水;钟政学 | 申请(专利权)人: | 翊晖科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发;艾 晶 |
| 地址: | 台湾省桃园县杨*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 曝光 | ||
1、一种曝光机,其特征在于,包括有:
一机台,具有一由机壳所包围构成的曝光室;
至少一曝光平台,为供固定被加工物及原稿的透明平台;
一输送机组,用以带动该至少一曝光平台相对进出该机台的曝光室;
至少一曝光光源组,设在该曝光室内部相对于该曝光平台的移动行程上方或下方位置,每一组曝光光源组具有若干光源用以产生曝光光源;
至少一出光罩,设在该至少一曝光光源组外部,其在相对朝向该曝光平台移动行程的部位设有一长条状的透光槽,另设有一活动遮光板控制该透光槽开启与否;
一控制电路,供设定、整合该输送机组、该至少一曝光光源组以及该活动遮光板的运作;以及,
该曝光光源组的灯泡启动时,其光源可透过该出光罩的透光槽向外照射,使产生朝向该曝光平台移动行程照射的条状光源;再配合该输送机组带动该曝光平台以预定速度与该出光罩相对位移的方式接受该条状光源的照射,使该曝光平台上的被加工物完成曝光显影。
2、如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,在该曝光平台的移动行程上方与下方位置皆设有一曝光光源组。
3、如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,该机壳在相对于该瀑光室的外围设有散热排风口及至少一循环入风口,并且在该至少一循环入风口处设有滤网。
4、如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,该输送机组具有一组横向延伸配置于该机台的曝光室内、外区域的线性滑轨供承载该曝光平台,设有一皮带供与该曝光平台连接,以及设有一用以带动该皮带运转的马达。
5、如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,该活动遮光板与该出光罩之间连接有至少一用于带动该活动遮光板与该出光罩相对位移,进而控制该透光槽关闭或开启的动力缸。
6、如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,该控制电路具有一设在机台上的供设定相关动作参数的触控屏幕,以及在该机台相对于该曝光平台的移动行程处设有至少一用以感测该曝光平台相对位置的感应开关。
7、如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,该至少一曝光光源组的各灯泡呈沿着该出光罩的透光槽直线排列,并且设有一组用以将灯泡的光线投向该出光罩透光槽的反光镜。
8、如权利要求7所述的曝光机,其特征在于,该至少一曝光光源组的各灯泡朝向光线照射方向偏摆的方式配置。
9、如权利要求7所述的曝光机,其特征在于,该至少一曝光光源组的各灯泡以2°夹角朝向光线照射方向偏摆的方式配置。
10、如权利要求1所述的曝光机,其特征在于,该光源灯泡或LED光源。
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