[实用新型]透明导电膜玻璃单面减薄承载装置无效

专利信息
申请号: 200920129451.X 申请日: 2009-01-16
公开(公告)号: CN201362646Y 公开(公告)日: 2009-12-16
发明(设计)人: 金弼;张莉;刘志斌 申请(专利权)人: 中国南玻集团股份有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 代理人: 郭伟刚
地址: 518067广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及透明导电膜玻璃单面减薄承载装置,包括密封并全面覆盖平板玻璃4导电膜面并将平板玻璃4吸附住的真空吸盘1;在真空吸盘1内部设有密闭的抽气孔道1c以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体1f,通过抽气孔道1c与真空缓冲腔体1f形成的密闭腔室,在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘1与平板玻璃4之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中始终吸附住平板玻璃4。利用本实用新型装置承载的平板玻璃在其减薄过程中,其一面没有任何遮挡便于减薄处理而被密闭的另一面可保证透明导电膜免受化学溶液侵蚀,使透明导电膜玻璃的单面减薄过程大大简化,也降低了成本。
搜索关键词: 透明 导电 玻璃 单面 承载 装置
【主权项】:
1、一种透明导电膜玻璃单面减薄承载装置,其特征在于,所述装置包括密封并全面覆盖平板玻璃(4)导电膜面并将平板玻璃(4)吸附住的真空吸盘(1);在真空吸盘(1)内部设有密闭的抽气孔道(1c)以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体(1f),通过抽气孔道(1c)与真空缓冲腔体(1f)形成的密闭腔室,在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘(1)与平板玻璃(4)之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中吸附住平板玻璃(4)。
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