[实用新型]透明导电膜玻璃单面减薄承载装置

权利要求书

1、一种透明导电膜玻璃单面减薄承载装置，其特征在于，所述装置包括密封并全面覆盖平板玻璃(4)导电膜面并将平板玻璃(4)吸附住的真空吸盘(1)；在真空吸盘(1)内部设有密闭的抽气孔道(1c)以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体(1f)，通过抽气孔道(1c)与真空缓冲腔体(1f)形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘(1)与平板玻璃(4)之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中吸附住平板玻璃(4)。

2、根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述真空吸盘(1)包括：用作支撑骨架的刚性平板(1a)、分别设置在刚性平板(1a)上用于贴合平板玻璃(4)边缘的密闭围墙(1b)以及用于控制真空吸盘(1)抽气和/或进气操作的常闭阀门(1d)；所述抽气孔道(1c)连通密闭围墙(1b)内部区域与阀门(1d)。

3、根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述刚性平板(1a)由两块同质平板贴合而成，其中一块平板的一面钻有充当抽气孔道(1c)的通孔，另一面铣有充当真空缓冲腔体(1f)的多个沟槽，所述通孔与沟槽相通。

4、根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述真空缓冲腔体(1f)的体积与平板玻璃面积成正比。

5、根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述真空缓冲腔体(1f)的体积与平板玻璃面积之间的比例范围介于200cm³∶1000cm²至600cm³∶1000cm²之间。

6、根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述刚性平板(1a)上还设置有用于嵌入所述密闭围墙(1b)的环形开口沟槽(1e)，所述环形开口沟槽(1e)的轮廓形状与密闭围墙(1b)边框轮廓形状相适，并且二者的平面轮廓形状与平板玻璃(4)的轮廓形状相适。

7、根据权利要求1～5中任一项所述的承载装置，其特征在于，还包括：固定在真空吸盘(1)底部的传输辊(2)。

8、根据权利要求1～5中任一项所述的承载装置，其特征在于，还包括：固定在真空吸盘(1)顶部的导向滑轮(3)。