[实用新型]反应腔真空门及其保护装置有效
| 申请号： | 200920109856.7 | 申请日： | 2009-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN201439539U | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 肖红玺;李楠;李伟;苏顺康;李正勳 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种反应腔真空门及其保护装置，涉及工业生产制造领域，解决了由于断电或断气造成的真空门意外打开的技术问题。反应腔真空门保护装置，包括：数套配套的插销和插口，设置在反应腔和真空门上；与所述插销数量相等的驱动装置，与所述插销相连接；用于检测输气管内气体压力的气体压力传感器；接收所述气体压力传感器的压力信号，并控制所述驱动装置的控制器，分别与所述驱动装置和所述气体压力传感器电连接。本实用新型应用于真空反应腔。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 空门 及其 保护装置 | ||
【主权项】：
一种反应腔真空门保护装置，其特征在于，包括：数套配套的插销和插口，设置在反应腔和真空门上；与所述插销数量相等的驱动装置，与所述插销相连接；用于检测输气管内气体压力的气体压力传感器；接收所述气体压力传感器的压力信号，并控制所述驱动装置的控制器，分别与所述驱动装置和所述气体压力传感器电连接。
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