[实用新型]反应腔真空门及其保护装置有效
| 申请号： | 200920109856.7 | 申请日： | 2009-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN201439539U | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 肖红玺;李楠;李伟;苏顺康;李正勳 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应 空门 及其 保护装置 | ||
1.一种反应腔真空门保护装置，其特征在于，包括：
数套配套的插销和插口，设置在反应腔和真空门上；
与所述插销数量相等的驱动装置，与所述插销相连接；
用于检测输气管内气体压力的气体压力传感器；
接收所述气体压力传感器的压力信号，并控制所述驱动装置的控制器，分别与所述驱动装置和所述气体压力传感器电连接。
2.根据权利要求1所述的反应腔真空门保护装置，其特征在于，还包括：
控制所述驱动装置动作的手动控制开关，与所述驱动装置电连接。
3.根据权利要求1所述的反应腔真空门保护装置，其特征在于，还包括：保护口，设置在所述插销插入所述插口的入口处。
4.根据权利要求1、2或3所述的反应腔真空门保护装置，其特征在于，所述驱动装置为马达。
5.根据权利要求4所述的反应腔真空门保护装置，其特征在于，
所述数套配套的插销和插口为两套，分别位于真空门的左右两侧，所述插销设置在真空门或反应腔上，所述插口对应设置在反应腔或真空门上。
6.根据权利要求4所述的反应腔真空门保护装置，其特征在于，
所述数套配套的插销和插口为三套，分别位于真空门的下侧、左侧和右侧，所述插销设置在真空门或反应腔上，所述插口对应设置在反应腔或真空门上。
7.一种反应腔真空门，包括：真空门；与所述真空门相连接，用于控制所述真空门开合的汽缸；与汽缸相连接的并与主控制器电连接的三通阀门，所述三通阀门连接有为所述汽缸供气的输气管，其特征在于，还包括：反应腔真空门保护装置，包括：
数套配套的插销和插口，设置在反应腔和真空门上；
与所述插销数量相等的驱动装置，与所述插销相连接；
气体压力传感器，设置在驱动所述真空门动作的汽缸的输气管内；
接收所述气体压力传感器的压力信号，并控制所述驱动装置的控制器，分别与所述驱动装置、所述气体压力传感器和所述主控制器电连接。
8.根据权利要求7所述的反应腔真空门，其特征在于，还包括：控制所述插销动作的手动控制开关，与所述插销相连接。
9.根据权利要求7所述的反应腔真空门，其特征在于，还包括：
保护口，设置在所述插销插入所述插口的入口处。
10.根据权利要求7、8或9所述的反应腔真空门，其特征在于，还包括：所述驱动装置为马达。
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