[实用新型]反应腔真空门及其保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及工业生产制造领域，尤其涉及一种反应腔真空门及其保护装置。

背景技术

在高科技工业生产中，反应腔的应用很多，在TFT-LCD生产线中，其广泛使用在Sputter(溅镀)/PECVD(等离子体化学气相沉积)/Dry Etcher(干刻)等设备上。

图1为现有技术反应腔真空门的结构示意图，如图1所示，现有技术的反应腔真空门包括：真空门1；与真空门1相连接，用于控制真空门1开合的汽缸2、与汽缸2相连接的三通阀门3，该三通阀门3连接有为汽缸2供气的输气管4。真空门1关闭和打开的工作原理为：真空门1由汽缸2驱动，接收主控制器的命令来控制三通阀门3的通气状态，即真空门1关闭时，三通阀门3相应的气管通气，另一路不通气，汽缸2推动真空门1下方的挡板5上移，直至真空门1完全覆盖反应腔6的腔口，同时，设置限位传感器7以显示真空门的开关状态，同理，真空门1打开时执行相反的动作。

然而，在实际使用中，由于现有技术的真空门没有保护措施，在设备突然断电或停止供应压力气体的时候，真空门很容易受重力作用下落并打开，造成真空门和汽缸的损坏；真空门下落撞击到设备后，也会对设备密封性造成影响。并且，真空门的突然打开还会对反应腔造成污染，需要进行长时间的清理才能恢复设备，严重影响设备的生产能力。另外，当反应腔内压力很低的时候，真空门的打开造成反应腔与外面的大气环境直接接触，气体冲击反应腔内的备件，由于真空设备多采用陶瓷等易碎部件，在强力气体的冲击下极易损坏，造成不可估量的损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种反应腔真空门保护装置，能够防止由于断电或断气造成的真空门意外打开。

为解决上述技术问题，本实用新型反应腔真空门保护装置采用如下技术方案：

一种反应腔真空门保护装置，包括：

数套配套的插销和插口，设置在反应腔和真空门上；

与所述插销数量相等的驱动装置，与所述插销相连接；

用于检测输气管内气体压力的气体压力传感器；

接收所述气体压力传感器的压力信号，并控制所述驱动装置的控制器，分别与所述驱动装置和所述气体压力传感器电连接。

本实用新型提供的反应腔真空门保护装置通过设置气体压力传感器，将检测到的气体压力信号反馈给控制器，通过控制器控制设置在真空门和反应腔上的配套的插销动作，保证真空门的关闭状态，即使出现断电或断气的故障都能有效防止真空门意外打开。

本实用新型所要解决的另一个技术问题在于提供一种反应腔真空门，能够防止由于断电或断气造成的真空门意外打开。

为解决上述技术问题，本实用新型反应腔真空门采用如下技术方案：

一种反应腔真空门，包括：真空门；与所述真空门相连接，用于控制所述真空门开合的汽缸；与汽缸相连接的并与主控制器电连接的三通阀门，所述三通阀门连接有为所述汽缸供气的输气管，还包括：反应腔真空门保护装置，包括：

数套配套的插销和插口，设置在反应腔和真空门上；

与所述插销数量相等的驱动装置，与所述插销相连接；

用于检测输气管内气体压力的气体压力传感器；

接收所述气体压力传感器的压力信号，并控制所述驱动装置的控制器，分别与所述驱动装置、所述气体压力传感器和所述主控制器电连接。

本实用新型提供的反应腔真空门通过设置气体压力传感器，将检测到的气体压力信号反馈给控制器，通过控制器控制设置在真空门和反应腔上的配套的插销动作，保证真空门的关闭状态，即使出现断电或断气的故障都能有效防止真空门意外打开。

附图说明

图1为现有技术反应腔真空门的结构示意图；

图2为本实用新型反应腔真空门保护装置实施例一的结构示意图；

图3为本实用新型反应腔真空门保护装置实施例二的结构示意图；

图4为真空门关闭时的示意图；

图5为真空门打开时的示意图；

图6为本实用新型反应腔真空门保护装置实施例三的结构示意图；

图7为本实用新型反应腔真空门实施例一的结构示意图；

图8为本实用新型反应腔真空门实施例二的结构示意图。

附图标记说明：

1-真空门；        2-汽缸；           3-三通阀门；

4-输气管；        5-挡板；           6-反应腔；

7-限位传感器；    8-插销；           9-插口；

10-驱动装置；    11-气体压力传感器； 12-控制器；