[实用新型]一种X射线荧光光谱仪

摘要

本实用新型涉及一种X射线荧光光谱仪，包括载物台板、腔体、准直器、一次滤光片、二次滤光片、摄像头、载物台板微调组件和密封室组件，其中准直器为准直器组件，包括准直器体、准直器芯和测位法兰盘，准直器体上固接有电机盖，一步进电机安装在电机盖上，准直器芯通过一轴套与步进电机的输出轴连接；一次滤光片为一次滤光组件，由步进电机、一次滤光盘和滤光片组成；二次滤光片为二次滤光组件，包括滤片盘、传动动力的小齿轮和提供旋转的步进电机，滤片盘呈V型，其夹角范围为0～180°；腔体设置在载物台板的下部，为一个V型结构，具有一V型腔，V型腔的上部与载物台板连接，准直器组件、一次滤光组件、二次滤光组件、摄像头和载物台板微调组件设置在V型腔中。

主权项

1、一种X射线荧光光谱仪，包括载物台板、腔体、准直器、一次滤光片、二次滤光片、摄像头、载物台板微调组件和密封室组件，其特征在于：所述准直器为准直器组件，包括准直器体、准直器芯和测位法兰盘，所述准直器体上固接有电机盖，一步进电机安装在所述电机盖上，所述准直器芯通过一轴套与所述步进电机的输出轴连接；所述一次滤光片为一次滤光组件，由步进电机、一次滤光盘和滤光片组成，所述步进电机的输出轴与所述一次滤光盘垂直连接，所述一次滤光盘上设有多个通孔，所述滤光片设置于所述通孔中；所述二次滤光片为二次滤光组件，包括滤片盘、传动动力的小齿轮和提供旋转的步进电机，所述滤片盘呈V型，其夹角范围为0～180°，所述滤片盘的V型锥面上均匀分布有多个通孔，上端边沿布设有啮合齿，所述小齿轮安装在所述步进电机上，所述小齿轮与所述滤片盘上端边沿的啮合齿相互啮合；所述腔体设置在所述载物台板的下部，为一个V型结构，具有一V型腔，所述V型腔的上部与所述载物台板连接，所述准直器组件、一次滤光组件、二次滤光组件、摄像头和载物台板微调组件设置在所述V型腔中。