[实用新型]一种X射线荧光光谱仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种X射线荧光光谱仪。

背景技术

X射线荧光光谱分析方法作为物质组成分析的必备方法之一，已经广泛应用于地质、冶金、建材、石油化工、半导体工业、医药卫生、环境保护等领域的重要分析手段，也是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析方法。随着技术水平的不断提高，X射线荧光光谱仪正在向自动化、智能化、专业化和小型化方向发展。

现有的X射线荧光光谱仪在结构上都较为松散，光程较长，特别是在配置真空光路的情况下，一次滤光片、准直器、二次滤光片的配置都直接影响到了整体光路的合理性，对仪器的整体性能产生了直接的负面影响。

发明内容

针对上述问题，本实用新型的主要目的在于提供一种结构紧凑合理，光程缩短，由电机提供各个运动部件的所需动力，可以实现计算机自动化控制的X射线荧光光谱仪。

为达到上述目的，本实用新型所提供的一种X射线荧光光谱仪，包括载物台板、腔体、准直器、一次滤光片、二次滤光片、摄像头、载物台板微调组件和密封室组件，其特征在于：所述准直器为准直器组件，包括准直器体、准直器芯和测位法兰盘，所述准直器体上固接有电机盖，一步进电机安装在所述电机盖上，所述准直器芯通过一轴套与所述步进电机的输出轴连接；所述一次滤光片为一次滤光组件，由步进电机、一次滤光盘和滤光片组成，所述步进电机的输出轴与所述一次滤光盘垂直连接，所述一次滤光盘上设有多个通孔，所述滤光片设置于所述通孔中；所述二次滤光片为二次滤光组件，包括滤片盘、传动动力的小齿轮和提供旋转的步进电机，所述滤片盘呈V型，其夹角范围为0～180°，所述滤片盘的V型锥面上均匀分布有多个通孔，上端边沿布设有啮合齿，所述小齿轮安装在所述步进电机上，所述小齿轮与所述滤片盘上端边沿的啮合齿相互啮合；所述腔体设置在所述载物台板的下部，为一个V型结构，具有一V型腔，所述V型腔的上部与所述载物台板连接，所述准直器组件、一次滤光组件、二次滤光组件、摄像头和载物台板微调组件设置在所述V型腔中。

上述本实用新型的技术方案中，所述V型腔具有二垂直的侧壁及二相对构成V型的斜面，在其中一个垂直的侧壁上设置有矩形通孔，供腔内所有电器装置的线缆出入，其中一个斜面上设置有透光孔，位于所述V型腔外的光管发出的光通过所述透光孔进入所述V型腔，相对的另一斜面上设置有供安装探测器的安装孔。

所述准直器组件的准直器体的径向设有射线通道，所述准直器体上还设有一轴向容置孔，所述准直器芯设置于所述容置孔中且所述准直器芯的轴线与所述准直器体的轴线同心。

所述准直器组件的准直器芯为一空心圆柱结构，其径向圆周上分布有若干不同孔径的准直孔，各所述准直孔的轴线与所述准直器体上径向的射线通道的轴线同心。

所述二次滤光组件通孔具有大小不同的孔径，其中大孔径通孔为用于装设不同滤光片的滤光片孔，小孔径通孔为对称的透光孔。

所述滤光片孔的轴线与所述准直器组件射线通道的轴线同心。

所述透光孔的轴线与X荧光光谱仪的探测器窗口同心。

所述滤片盘的V型夹角为90°。

所述滤片盘的底部有一折边，上面设有一用于步进电机零位检测的矩形槽。

所述载物台板微调组件包括直线步进电机、拨片和电机安装座，所述直线步进电机带动所述拨片前后运动，从而带动所述载物台板的薄膜组件直线运动；所述密封室组件设置在所述载物台板的密封台上，所述密封室组件具有一圆形圈体，所述圈体的上端面上延伸设置有二固定块，下端面设置有嵌槽，其中嵌设一异性密封圈。

采用上述技术方案，本实用新型将一次滤光片、准直器、二次滤光片、真空光路一体化设计，结构紧凑、合理、科学，大大缩短了光程。V型的真空腔在保证各组件合理放置的同时，腔体更小，减少了测量前抽真空的时间。本实用新型对整个光路系统中的各个部件结构以及相互的位置关系进行了改进和优化，使整个仪器的光路系统的结构更为科学和合理，提高了仪器整体的性能指标。

附图说明

图1是本实用新型载物台板组件的轴侧图

图2是本实用新型内各部件的布置图

图3是本实用新型的剖视图

图4是本实用新型腔体的轴侧图

图5是本实用新型准直器组件的轴侧图

图6是本实用新型准直器芯的轴侧图

图7是本实用新型准直器主体的轴侧图

图8是本实用新型摄像头的轴侧图

图9是本实用新型一次滤光组件的轴侧图

图10是本实用新型二次滤光组件的轴侧图