[实用新型]一种X射线荧光光谱仪

权利要求书

1、一种X射线荧光光谱仪，包括载物台板、腔体、准直器、一次滤光片、二次滤光片、摄像头、载物台板微调组件和密封室组件，其特征在于：

所述准直器为准直器组件，包括准直器体、准直器芯和测位法兰盘，所述准直器体上固接有电机盖，一步进电机安装在所述电机盖上，所述准直器芯通过一轴套与所述步进电机的输出轴连接；

所述一次滤光片为一次滤光组件，由步进电机、一次滤光盘和滤光片组成，所述步进电机的输出轴与所述一次滤光盘垂直连接，所述一次滤光盘上设有多个通孔，所述滤光片设置于所述通孔中；

所述二次滤光片为二次滤光组件，包括滤片盘、传动动力的小齿轮和提供旋转的步进电机，所述滤片盘呈V型，其夹角范围为0～180°，所述滤片盘的V型锥面上均匀分布有多个通孔，上端边沿布设有啮合齿，所述小齿轮安装在所述步进电机上，所述小齿轮与所述滤片盘上端边沿的啮合齿相互啮合；

所述腔体设置在所述载物台板的下部，为一个V型结构，具有一V型腔，所述V型腔的上部与所述载物台板连接，所述准直器组件、一次滤光组件、二次滤光组件、摄像头和载物台板微调组件设置在所述V型腔中。

2、如权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述V型腔具有二垂直的侧壁及二相对构成V型的斜面，在其中一个垂直的侧壁上设置有矩形通孔，供腔内所有电器装置的线缆出入，其中一个斜面上设置有透光孔，位于所述V型腔外的光管发出的光通过所述透光孔进入所述V型腔，相对的另一斜面上设置有供安装探测器的安装孔。

3、如权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述准直器组件的准直器体的径向设有射线通道，所述准直器体上还设有一轴向容置孔，所述准直器芯设置于所述容置孔中且所述准直器芯的轴线与所述准直器体的轴线同心。

4、如权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述准直器组件的准直器芯为一空心圆柱结构，其径向圆周上分布有若干不同孔径的准直孔，各所述准直孔的轴线与所述准直器体上径向的射线通道的轴线同心。

5、如权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述二次滤光组件通孔具有大小不同的孔径，其中大孔径通孔为用于装设不同滤光片的滤光片孔，小孔径通孔为对称的透光孔。

6、如权利要求5所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述滤光片孔的轴线与所述准直器组件射线通道的轴线同心。

7、如权利要求5所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述透光孔的轴线与X荧光光谱仪的探测器窗口同心。

8、如权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述滤片盘的V型夹角为90°。

9、如权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述滤片盘的底部有一折边，上面设有一用于步进电机零位检测的矩形槽。

10、如权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述载物台板微调组件包括直线步进电机、拨片和电机安装座，所述直线步进电机带动所述拨片前后运动，从而带动所述载物台板的薄膜组件直线运动；

所述密封室组件设置在所述载物台板的密封台上，所述密封室组件具有一圆形圈体，所述圈体的上端面上延伸设置有二固定块，下端面设置有嵌槽，其中嵌设一异性密封圈。