[实用新型]掩膜板承座及曝光设备无效
| 申请号： | 200920066981.4 | 申请日： | 2009-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN201402364Y | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 吴玉琦;徐进 | 申请（专利权）人： | 上海广电电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海明成云知识产权代理有限公司 | 代理人： | 成春荣;竺 云 |
| 地址： | 200072上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实施方式涉及显示面板曝光设备技术领域，公开了一种掩膜板承座及曝光设备。本实施方式中，使用开口较小的掩膜板，可以在大尺寸曝光机上使用小尺寸的掩膜板，节约了掩膜板的采购成本。通过可拆卸卡座将掩膜板承座固定在曝光设备上，可以在同一个曝光设备上方便地更换不同的掩膜板承座，以适用不同大小的掩膜板。承座以铝合金材料制成，重量较轻，便于承座的拆卸和更换。开口设在曝光面积的中央区域，使曝光具有较好的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板承座 曝光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板承座，用于制作无源有机电致发光显示面板的曝光设备，所述承座包括：掩膜板的支撑架(104)；支撑架(104)的中间有一个开口(101)，用于曝光掩膜板的图形；在支撑架(104)的内边缘上，有用于吸住掩膜板的吸附沟(103)，和用于固定掩膜板的固定装置，其特征在于，开口(101)的尺寸小于所述曝光设备所支持的最大基板尺寸。
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