[实用新型]掩膜板承座及曝光设备

权利要求书

1.一种掩膜板承座，用于制作无源有机电致发光显示面板的曝光设备， 所述承座包括：掩膜板的支撑架(104)；支撑架(104)的中间有一个开口(101)， 用于曝光掩膜板的图形；在支撑架(104)的内边缘上，有用于吸住掩膜板的 吸附沟(103)，和用于固定掩膜板的固定装置，其特征在于，开口(101)的尺 寸小于所述曝光设备所支持的最大基板尺寸。

2.根据权利要求1所述的掩膜板承座，其特征在于，还包括可拆卸卡 座，用于将所述承座固定在所述曝光设备上。

3.根据权利要求2所述的掩膜板承座，其特征在于，所述承座以铝合 金材料制成。

4.根据权利要求1所述的掩膜板承座，其特征在于，还包括固定轴， 用于将所述承座固定在所述曝光设备上。

5.根据权利要求1所述的掩膜板承座，其特征在于，用于固定掩膜板 的固定装置是弹簧夹(102)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的掩膜板承座，其特征在于，开 口(101)在曝光面积的中央区域。

7.一种曝光设备，用于制作无源有机电致发光显示面板，其特征在于， 该设备中包括一个掩膜板承座，该承座包括：掩膜板的支撑架(104)；支撑 架(104)的中间有一个开口(101)，用于曝光掩膜板的图形；在支撑架(104) 的内边缘上，有用于吸住掩膜板的吸附沟(103)，和用于固定掩膜板的固定 装置，其中，开口(101)的尺寸小于所述曝光设备所支持的最大基板尺寸。

8.根据权利要求7所述的曝光设备，其特征在于，该设备配有多个所 述掩膜板承座，各承座上开口(101)的尺寸均不相同。

9.根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，每个所述掩膜板承 座上都有相同的可拆卸卡座，用于将该掩膜板承座固定在所述曝光设备上。

10.根据权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，各所述掩膜板承 座上的开口(101)均在曝光面积的中央区域。