[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号： | 200910312457.5 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102108488A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 洪新钦;魏朝沧;张庆州;简士哲;王仲培;凌维成;黄建豪;吴佳颖;廖名扬 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜装置，其用于对多个基板进行镀膜，该镀膜装置包括一个镀膜腔体及一个抽气系统。该镀膜腔体具有一个竖直方向的中轴。该抽气系统连通至该镀膜腔体顶部的中央，并位于该中轴上。该多个基板沿平行该中轴的方向放置，且环布在该中轴的周围。如此，所述多个基板所处位置的抽气速率大致相同，处于一个气体浓度相对均匀的环境中，镀膜的均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，用于对多个基板进行镀膜，该镀膜装置包括一个镀膜腔体及一个抽气系统，该镀膜腔体具有一个竖直方向的中轴，其特征在于：该抽气系统连通至该镀膜腔体顶部的中央，并位于该中轴上，该多个基板沿平行该中轴的方向放置，且环布在该中轴的周围。
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