[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号： | 200910312457.5 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102108488A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 洪新钦;魏朝沧;张庆州;简士哲;王仲培;凌维成;黄建豪;吴佳颖;廖名扬 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜装置，用于对多个基板进行镀膜，该镀膜装置包括一个镀膜腔体及一个抽气系统，该镀膜腔体具有一个竖直方向的中轴，其特征在于：该抽气系统连通至该镀膜腔体顶部的中央，并位于该中轴上，该多个基板沿平行该中轴的方向放置，且环布在该中轴的周围。
2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该镀膜腔体包括一个顶面、一个底面及一个连接该顶面与该底面的且平行于该中轴的侧面。
3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，该抽气系统包括一个抽气机及一个导管；该顶面的中央开设有一个沿该中轴对称的开口，该导管连通该抽气机及该开口。
4.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，该侧面沿该中轴方向开设有三个气孔，每个进气口连接至一个供气装置。
5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该镀膜装置还包括一个圆筒状靶材及一个冷却单元；该圆筒状靶材沿该中轴方向设置于该镀膜腔体的中央；该冷却单元包括一个管体及在该管体内循环的冷却液；该管体设置在该靶材内且与该靶材的内壁接触。
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