[发明专利]大尺寸溅射靶材的表面处理方法有效
| 申请号： | 200910224769.0 | 申请日： | 2009-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101704124A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/13 | 分类号： | B23C3/13;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸溅射靶材的表面处理方法，包括：提供大尺寸溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；对所述溅射靶材的表面进行铣削加工，在铣削加工过程中采用汽化的酒精进行冷却。与现有技术相比，本发明通过采用汽化的酒精进行冷却，使得酒精汽化后形成的汽液两相流体能起到良好的冷却和润滑的效果，提高溅射靶材在铣削加工中的表面平整度和光洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 溅射 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种大尺寸溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括：提供大尺寸溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；对所述溅射靶材的表面进行铣削加工，在铣削加工过程中采用汽化的酒精进行冷却。
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