[发明专利]大尺寸溅射靶材的表面处理方法有效
| 申请号： | 200910224769.0 | 申请日： | 2009-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101704124A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/13 | 分类号： | B23C3/13;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 尺寸 溅射 表面 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种大尺寸溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括：
提供大尺寸溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；
对所述溅射靶材的表面进行铣削加工，在铣削加工过程中采用汽化后形 成的汽液两相流体的酒精进行冷却，所述酒精为浓度大于95％的工业酒精；
所述在铣削加工过程中采用汽液两相的酒精进行冷却包括利用喷雾冷却 装置通过高压空气将酒精以雾状形态喷洒至所述铣床的铣刀刀尖与所述溅射 靶材表面的交接点上，其中所述高压空气的压强为5至7个大气压。
2.根据权利要求1所述的大尺寸溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所 述溅射靶材为矩形的板靶材。
3.根据权利要求1所述的大尺寸溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所 述溅射靶材中铝的纯度大于99.9％。
4.根据权利要求1所述的大尺寸溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所 述铣削加工包括：粗加工平面；采用自然时效进行去应力处理；精加工外形； 半精加工；采用自然时效进行去应力处理；精加工平面。
5.根据权利要求1所述的大尺寸溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，所 述铣刀具有大致呈楔形状截面的刀头。
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