[发明专利]基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置无效
| 申请号： | 200910209942.X | 申请日： | 2009-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101726631A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 长谷川宽 | 申请（专利权）人： | 日本电产丽德株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 严志军;杨松龄 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置。检查夹具具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，检查夹具头具备：多个检查用探针，用于通过与单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行布线图形的检查；探针头，保持多个检查用探针；基台，保持探针头；第1移动设备，设在基台上，在与单位检查基板的面平行的面内，沿第1方向移动探针头；第2移动设备，设在基台上，在与单位检查基板的面平行的面内，沿与第1方向不同的第2方向移动探针头。通过使第1移动设备和第2移动设备的一方或两方起作用，能够修正多个检查用探针和检查点的对应的位置的偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 夹具 以及 具备 装置 | ||
【主权项】：
一种检查夹具，具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，用于通过移动该检查夹具并使所述检查夹具头与所述薄片基板上的单位检查基板对应来进行所述布线图形的检查的基板检查装置，所述检查夹具头具备：多个检查用探针，用于通过与所述单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行该布线图形的检查；探针头，保持该多个检查用探针；基台，保持该探针头；第1移动设备，设在该基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿第1方向移动所述探针头；以及第2移动设备，设在所述基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿与所述第1方向不同的第2方向移动所述探针头，其中，通过使所述第1移动设备和第2移动设备的一方或两方起作用，能够修正所述多个检查用探针和所述检查点的对应的位置的偏移。
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