[发明专利]基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置

权利要求书

1.一种检查夹具，具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，用于通过移动该检查夹具并使所述检查夹具头与所述薄片基板上的单位检查基板对应来进行所述布线图形的检查的基板检查装置，所述检查夹具头具备：

多个检查用探针，用于通过与所述单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行该布线图形的检查；

探针头，保持该多个检查用探针；

基台，保持该探针头；

第1移动设备，设在该基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿第1方向移动所述探针头；以及

第2移动设备，设在所述基台上，在与所述单位检查基板的面平行的面内，沿与所述第1方向不同的第2方向移动所述探针头，其中，

通过使所述第1移动设备和第2移动设备的一方或两方起作用，能够修正所述多个检查用探针和所述检查点的对应的位置的偏移。

2.根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，所述第1移动设备和所述第2移动设备沿相互正交的方向移动所述检查夹具。

3.根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，还具备在与所述单位检查基板的面平行的面内旋转所述检查夹具的旋转设备。

4.根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，所述第1移动设备和第2移动设备各自具备使所述检查夹具前进和后退的突出和拉扯设备。

5.根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，所述移动设备具备压电马达。

6.根据权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，具备多个检查夹具头。

7.根据权利要求6所述的检查夹具，其特征在于，所述多个检查夹具头配置成矩阵状，个别的检查夹具头能够与将单位检查基板配置成矩阵状的薄片基板的所述单位检查基板各自对应。

8.根据权利要求6所述的检查夹具，其特征在于，所述多个检查夹具头以与配置成矩阵状的单位检查基板的一部分的配置成列状的单位基板个别对应的方式配置成列状，如果所对应的单位检查基板的检查结束，则所述多个检查夹具头能够与接下来的单位检查基板的一部分的配置成列状的单位基板个别对应。

9.根据权利要求6所述的检查夹具，其特征在于，在薄片基板上，单位检查基板配置成矩阵状，另外，所述多个检查夹具头隔开间隔而配置，在所述薄片基板中，不相邻的单位检查基板和隔开所述间隔而配置的检查夹具头对应。

10.一种基板检查装置，具备：

根据权利要求6所述的检查夹具；

基板搬送设备，将所述薄片基板搬送至检查装置；

位置检测设备，检测该薄片基板上的所述单位检查基板的位置；

检查夹具移动设备，将所述检查夹具移动至所述检查位置；以及

控制装置，在与所述检查夹具头的所述多个检查用探针之间收发基板检查用的信号并取得单位检查基板的电气特性，另外，控制所述多个检查夹具头的各自的所述第1移动设备和第2移动设备以及所述旋转设备的动作，其中，

通过所述控制装置，求出所述薄片基板的单位检查基板的设计位置和由所述位置检测设备检测出的所述单位检查基板的检测位置的偏移的大小，基于该偏移的大小，控制所述第1移动设备和第2移动设备以及所述旋转设备并修正规定的检查夹具头的位置，由此，使所述检查夹具头的检查用探针与所述单位检查基板的检查点恰当地接触。