[发明专利]基板检查夹具以及具备该基板检查夹具的基板检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及能够为了使触头与在多个单位检查基板上各自形成的电路图形接触并检查该电路图形而进行检查夹具头的位置的修正的检查夹具以及具备该检查夹具的基板检查装置。

在本发明中，检查基板不限于印刷电路基板，能够适用于在例如柔性基板、多层布线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板以及半导体封装用的封装基板或薄膜载体等各种基板或者半导体晶片等形成的电气布线的检查。在该说明书中，将这些各种布线基板统称为“基板”。

背景技术

专利文献1：日本特开平8-21867号公报

在专利文献1中，公开了这样的构成：对应于将成为检查对象的多个单位检查基板配置成多行和多列的矩阵状的薄片基板的各单位检查基板的检查点而配置各检查夹具头，对该薄片基板内的多个单位检查基板进行一次检查。

可是，在制造将多个单位检查基板配置成矩阵状的薄片基板时，在该层压工序中，有时候各单位检查基板的检查点从设计上的目标位置偏移。这是因为，在依照堆积构造来制造的基板中，在利用高温压焊来固定构成基板的基体材料，从而对各层进行层压时，产生收缩误差，由此，检查点有时候从设计上的目标位置偏移。

如果存在这样的检查点的位置偏移，则有时候检查用探针不能与检查点恰当地接触，不能进行正确的检查，或将正常的基板判断为不良品。尤其是，即使这样的位置偏移很小，也会随着布线图形的细密化而成为更深刻的问题。

专利文献2：日本特开2008-170365号公报

在专利文献2中，公开了相对于横向地排列成一列的3个单位检查基板的正中的单位检查基板而移动两侧的2个单位检查基板，调整各个之间的距离。

发明内容

收缩误差的修正与相邻的单位检查基板间的距离相对应，仅调整检查夹具头的位置是不够的，因而有必要使检查夹具头沿除此以外的方向移动并进行其位置的调整。

另外，随着布线图形的细密化，有必要更正确地消除用于配置各个检查夹具头的设定位置和检查点的位置偏移。

而且，为了在薄片基板上形成许多单位检查基板，期望能够同时地一次检查更多的单位检查基板。

为了解决上述课题，本发明的检查夹具具备用于检查薄片基板上的各单位检查基板的布线图形的检查夹具头，用于通过移动检查夹具并使检查夹具头与薄片基板上的单位检查基板对应来进行布线图形的检查的基板检查装置。检查夹具头具备：多个检查用探针，用于通过与单位检查基板的布线图形上的检查点对应并接触来进行布线图形的检查；探针头，保持多个检查用探针；基台，保持探针头；第1移动设备，设在基台上，在与单位检查基板的面平行的面内，沿第1方向移动探针头；以及第2移动设备，设在基台上，在与单位检查基板的面平行的面内，沿与第1方向不同的第2方向移动探针头，其中，通过使第1移动设备和第2移动设备的一方或两方起作用，能够修正多个检查用探针和检查点的对应的位置的偏移。

在该检查夹具中，第1移动设备和第2移动设备能够沿相互正交的方向移动检查夹具。而且，也可以具备在与单位检查基板的面平行的面内旋转检查夹具的旋转设备。第1移动设备和第2移动设备也可以各自具备使检查夹具前进和后退的突出和拉扯设备。移动设备也可以具备压电马达。能够具备多个检查夹具头。多个检查夹具头配置成矩阵状，个别的检查夹具头能够与将单位检查基板配置成矩阵状的薄片基板的单位检查基板各自对应。多个检查夹具头以与配置成矩阵状的单位检查基板的一部分的配置成列状的单位基板个别对应的方式配置成列状，如果所对应的单位检查基板的检查结束，则多个检查夹具头可以与接下来的单位检查基板的一部分的配置成列状的单位基板个别对应。在薄片基板上，单位检查基板配置成矩阵状，另外，多个检查夹具头隔开间隔而配置，在薄片基板中，不相邻的单位检查基板和隔开间隔而配置的检查夹具头对应。

另外，基板检查装置具备：上述检查夹具；基板搬送设备，将薄片基板搬送至检查装置；位置检测设备，检测薄片基板上的单位检查基板的位置；检查夹具移动设备，将检查夹具移动至检查位置；以及控制装置，在与检查夹具头的多个检查用探针之间收发基板检查用的信号并取得单位检查基板的电气特性，另外，控制多个检查夹具头的各自的第1移动设备和第2移动设备以及旋转设备的动作，其中，通过控制装置，求出薄片基板的单位检查基板的设计位置和由位置检测设备检测出的单位检查基板的检测位置的偏移的大小，基于偏移的大小，控制第1移动设备和第2移动设备以及旋转设备并修正规定的检查夹具头的位置，由此，能够使检查夹具头的检查用探针与单位检查基板的检查点恰当地接触。