[发明专利]靶材金相组织的显示方法有效
| 申请号： | 200910208835.5 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN101699253A | 公开（公告）日： | 2010-04-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材金相组织的显示方法，包括：提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；从所述靶材中切取一部分作为试样；对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理；使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理；利用金相显微镜对所述试样进行观察。与现有技术相比，本发明具有如下优点：使得所述试样的金相组织具有良好的显示效果，便于观察和分析。 | ||
| 搜索关键词： | 金相 组织 显示 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；从所述靶材中切取一部分作为试样；对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理；使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理；利用金相显微镜对所述试样进行观察。
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