[发明专利]靶材金相组织的显示方法

权利要求书

1.一种靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述方法包括：

提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；

从所述靶材中切取一部分作为试样；

对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；

使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理，所述第一浸蚀液是由硫酸、硝酸和氢氟酸以5∶2∶2混合而成；

使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理，所述第二浸蚀液是由硫酸、硝酸和氢氟酸以2∶2∶5混合而成；

利用金相显微镜对所述试样进行观察。

2.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述靶材的纯度至少大于等于99.95％。

3.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述试样的尺寸小于200mm²，厚度为15mm至20mm。

4.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述表面处理包括打磨处理和抛光处理。

5.根据权利要求4所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述打磨处理包括：以水为作为润湿剂，依次采用粒度递减的砂纸进行至少一次带水磨光；每次换砂纸后将所述试样转动90度，直到把上一道工序的划痕磨掉，且每次换砂纸前须用水将所述试样清洗干净。

6.根据权利要求5所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述砂纸分别为400#、800#和1500#的碳化硅或金刚砂砂纸。

7.根据权利要求4所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述抛光处理包括：以酒精作为润湿剂，利用研磨抛光机，将所述试样在蘸有金刚石研磨膏的绒布或绸布上进行机械抛光，抛光结束后用清水冲洗并冷却所述试样。

8.根据权利要求7所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述研磨抛光机的转速为350转/分钟至450转/分钟，处理时间为2分钟至3分钟。

9.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述第一腐蚀处理具体包括：提供第一浸蚀液；至少将所述试样的抛光面浸润至第一浸蚀液中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为100秒至200秒。

10.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述第二腐蚀处理具体包括：提供第二浸蚀液；至少将所述试样的抛光面浸润至第二浸蚀液中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为150秒至250秒。

11.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，在利用金相显微镜对所述试样进行观察之前还包括清洗所述试样的步骤。

12.根据权利要求11所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述清洗试样的步骤具体包括：在所述试样进行腐蚀处理后，将所述试样自所述第二浸蚀液中取出，单独用水和酒精中的任一种或者先用水再用酒精清洗所述试样，然后烘干。