[发明专利]图案修正方法及图案修正装置无效
| 申请号： | 200910208352.5 | 申请日： | 2009-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN101738754A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 清水茂夫 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 马淑香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种图案修正方法及图案修正装置，能抑制修正液向缺陷部的周围溢出，可使涂敷于缺陷部的修正液的厚度均匀。本发明的图案修正方法中，在向液晶滤色片基板(1)的像素(6)的白色缺陷(6a)涂敷修正墨水(7)后，为使修正墨水(7)的厚度均匀，向修正墨水(7)喷出含有溶剂(16)蒸汽的气体，降低修正墨水(7)的粘度。因此，能抑制涂敷于白色缺陷(6a)的修正墨水(7)向周围溢出。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 修正 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种修正形成于基板上的图案的缺陷部的图案修正方法，其特征在于，包括第一步和第二步，所述第一步向所述缺陷部涂敷修正液，所述第二步为使涂敷于所述缺陷部的所述修正液的厚度均匀，使所述修正液吸收溶剂的蒸汽以降低所述修正液的粘度。
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