[发明专利]图案修正方法及图案修正装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种图案修正方法及图案修正装置，尤其涉及修正形成于基板上的图案的缺陷部的图案修正方法及图案修正装置。

背景技术

作为平板显示器的代表例，已知有液晶显示器、等离子体显示器、EL显示器等。这些显示器不断追求画面的大型化、高清晰化，具有像素数量增大的趋势。因此，制造过程中像素产生缺陷的概率升高，为了提高成品率，需要修正像素中产生的缺陷的技术。

例如，作为修正液晶滤色片的着色层(像素)的局部脱色而产生的白色缺陷的方法，有在涂敷针的前端部附着修正液(修正墨水)后，使该涂敷针的前端与白色缺陷接触来涂敷修正液的方法(例如参照专利文献1)。

此外，还有向着色层产生的异物缺陷和白色缺陷照射激光，形成矩形的白色缺陷，然后用微型分配器向矩形的白色缺陷注入修正液的方法(例如参照专利文献2)。

此外，向矩形的白色缺陷涂敷修正液时，会出现白色缺陷的角落部没有填充修正液，修正液的中央部膨胀鼓起，修正液被引向白色缺陷的边缘从而使修正液的中央部凹下等，使得修正液的厚度容易变得不均匀。作为使涂敷于白色缺陷的修正液的厚度均匀的方法，有从上方向涂敷于白色缺陷的修正液喷射气体的方法(例如参照专利文献3)。

专利文献1：日本专利特开平9-236933号公报

专利文献2：日本专利特开2006-145786号公报

专利文献3：日本专利特开2008-3287号公报

所述专利文献3的方法中，使用高粘度的修正液和使用低粘度的但干燥迅速、具有粘度升高趋势的修正液时，为了使修正液的厚度均匀，需要提高向修正液喷射的气体的压力。但是，喷射的气体的压力过高时，有时修正液会溢出到白色缺陷的周围。

此外，最近随着液晶电视的大画面化，滤色片的像素尺寸大型化，缺陷尺寸也在变大。修正液的涂敷面积增大时，有时会出现修正液的厚度不均匀性进一步变大的情形，根据修正液鼓起形态的不同，当从上方喷射气体时有时会出现修正液被压向缺陷像素周围的情形。

发明内容

所以，本发明的主要目的在于提供一种抑制涂敷于缺陷部的修正液向周围溢出、可使修正液的厚度均匀的图案修正方法及图案修正装置。

本发明涉及的图案修正方法是修正形成于基板上的图案的缺陷部的图案修正方法，包括第一步和第二步，第一步向缺陷部涂敷修正液，第二步为使涂敷于缺陷部的修正液的厚度均匀，使修正液吸收溶剂的蒸汽以降低修正液的粘度。

溶剂最好与修正液含有的溶剂相同。

此外，最好能预先算出使修正液吸收溶剂的蒸汽以使修正液的厚度均匀所需的时间，在第二步中，以预先算出的时间使修正液吸收修正液的溶剂的蒸汽。

此外，最好在第二步中一边观察涂敷于缺陷部的修正液一边使修正液吸收溶剂的蒸汽，对应修正液的表面的平坦化结束第二步。

此外，最好在第二步中使喷嘴的前端与涂敷于缺陷部的修正液相对，从喷嘴向修正液喷出含有溶剂蒸汽的气体，使修正液吸收溶剂的蒸汽。

此外，喷嘴最好能相对于基板大致垂直或倾斜地配置。

此外，喷嘴最好能在缺陷部的周围配置多个。

此外，最好在第二步中向注入有溶剂的容器内供给气体，从而生成含有溶剂蒸汽的气体。

此外，最好向容器内的溶剂中供给气体并产生气泡，以增加溶剂蒸汽的产生量。

此外，最好能使用加热器对容器内加热，以增加溶剂蒸汽的产生量。

此外，最好在第二步中使吸收有溶剂的片材接近涂敷于缺陷部的修正液，从片材向修正液供给溶剂的蒸汽。

此外，基板最好是透明基板，图案最好是包括多个着色层的滤色片，缺陷部最好是着色层的白色缺陷。

本发明涉及的图案修正装置是修正形成于基板上的图案的缺陷部的图案修正装置，包括涂敷装置和均匀化装置，涂敷装置向缺陷部涂敷修正液，均匀化装置为使涂敷于缺陷部的修正液的厚度均匀，使修正液吸收溶剂的蒸汽以降低修正液的粘度。

均匀化装置最好包括：注入有溶剂的容器，向容器内供给气体并生成含有溶剂蒸汽的气体的气体供给装置，以及与容器连接、并向涂敷于缺陷部的修正液喷出含有溶剂蒸汽的气体的喷嘴。

此外，均匀化装置最好包括吸收有溶剂的片材和使片材与涂敷于缺陷部的修正液相对的保持构件。

本发明涉及的图案修正方法及图案修正装置中，为使涂敷于缺陷部的修正液的厚度均匀，使修正液吸收溶剂的蒸汽以降低修正液的粘度。因此，能抑制修正液向缺陷部的周围溢出，能使涂敷于缺陷部的修正液的厚度均匀。

附图说明