[发明专利]图案修正方法及图案修正装置

权利要求书

1.一种修正形成于基板上的图案的缺陷部的图案修正方法，其特征在于，包括第一步和第二步，所述第一步向所述缺陷部涂敷修正液，所述第二步为使涂敷于所述缺陷部的所述修正液的厚度均匀，使所述修正液吸收溶剂的蒸汽以降低所述修正液的粘度。

2.如权利要求1所述的图案修正方法，其特征在于，所述溶剂与所述修正液含有的溶剂相同。

3.如权利要求1所述的图案修正方法，其特征在于，

预先算出使所述修正液吸收所述溶剂的蒸汽以使所述修正液的厚度均匀所需的时间，

在所述第二步中，以预先算出的时间使所述修正液吸收所述修正液的溶剂的蒸汽。

4.如权利要求1所述的图案修正方法，其特征在于，在所述第二步中，一边观察涂敷于所述缺陷部的所述修正液一边使所述修正液吸收所述溶剂的蒸汽，在所述修正液的表面平坦化后结束所述第二步。

5.如权利要求1所述的图案修正方法，其特征在于，在所述第二步中，使喷嘴的前端与涂敷于所述缺陷部的所述修正液相对，从所述喷嘴向所述修正液喷出含有所述溶剂蒸汽的气体，使所述修正液吸收所述溶剂的蒸汽。

6.如权利要求5所述的图案修正方法，其特征在于，所述喷嘴相对于所述基板大致垂直或倾斜地配置。

7.如权利要求5所述的图案修正方法，其特征在于，所述喷嘴在所述缺陷部的周围配置多个。

8.如权利要求5所述的图案修正方法，其特征在于，在所述第二步中，向注入有所述溶剂的容器内供给气体，从而生成含有所述溶剂蒸汽的所述气体。

9.如权利要求8所述的图案修正方法，其特征在于，向所述容器内的所述溶剂中供给气体并产生气泡，以增加所述溶剂蒸汽的产生量。

10.如权利要求8所述的图案修正方法，其特征在于，使用加热器对所述容器内加热，以增加所述溶剂蒸汽的产生量。

11.如权利要求1所述的图案修正方法，其特征在于，在所述第二步中，使吸收有所述溶剂的片材接近涂敷于所述缺陷部的所述修正液，从所述片材向所述修正液供给所述溶剂的蒸汽。

12.如权利要求1至11中任一项所述的图案修正方法，其特征在于，

所述基板是透明基板，

所述图案是包括多个着色层的滤色片，

所述缺陷部是所述着色层的白色缺陷。

13.一种修正形成于基板上的图案的缺陷部的图案修正装置，其特征在于，包括涂敷装置和均匀化装置，所述涂敷装置向所述缺陷部涂敷修正液，所述均匀化装置为使涂敷于所述缺陷部的所述修正液的厚度均匀，使所述修正液吸收溶剂的蒸汽以降低所述修正液的粘度。

14.如权利要求13所述的图案修正装置，其特征在于，所述均匀化装置包括：注入有所述溶剂的容器，向所述容器内供给气体并生成含有所述溶剂蒸汽的所述气体的气体供给装置，以及与所述容器连接、并向涂敷于所述缺陷部的所述修正液喷出含有所述溶剂蒸汽的所述气体的喷嘴。

15.如权利要求13所述的图案修正装置，其特征在于，所述均匀化装置包括吸收有所述溶剂的片材和使所述片材与涂敷于所述缺陷部的所述修正液相对的保持构件。