[发明专利]热处理装置有效
| 申请号： | 200910203453.3 | 申请日： | 2009-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN101585665A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 神田敏朗 | 申请（专利权）人： | 爱斯佩克株式会社 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种热处理装置，其目的在于使伴随热处理而产生的生成气体和升华物等不会随着出入口的开闭而泄漏，或不会产生热处理室内温度分布的不均。在成为热处理装置(1)的热处理室(13)的正面(13b)并列设置有上下四个出入口(18a)～(18d)。另外，在热处理室(13)的底面(13a)设置有排气口(21)，排气装置(11)与之连接。排气装置(11)在上方区域(X2)设置的出入口(18c)、(18d)为打开状态期间，其输出比在热处理室(13)的底面(13a)侧的区域(X1)设置的出入口(18a)、(18b)为打开状态期间高。由此，出入口(18c)、(18d)为打开状态时，区域(X2)的静压也和外部大气压(Po)相等或低于外部大气压，防止了包含生成气体的空气的泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种热处理装置，其特征在于，具备：可以收纳被加热物的热处理室；可以相对于该热处理室取放被加热物的多个出入口；可以改变用于将气体从所述热处理室的内侧向外侧抽吸排出的排气能力的排气装置，调节所述排气装置的排气能力，以使所述任意一个出入口为打开状态时，与该打开状态的出入口邻接的位置的所述热处理室内的静压比所述出入口为打开状态前的压力低。
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