[发明专利]热处理装置有效
| 申请号: | 200910203453.3 | 申请日: | 2009-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN101585665A | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
| 发明(设计)人: | 神田敏朗 | 申请(专利权)人: | 爱斯佩克株式会社 |
| 主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙 淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 热处理 装置 | ||
1.一种热处理装置,其特征在于,具备:
可以收纳被加热物的热处理室;
可以相对于该热处理室取放被加热物的多个出入口;
可以改变用于将气体从所述热处理室的内侧向外侧抽吸排出的排气 能力的排气装置,
所述排气装置是能够提高排气能力,以使所述任意一个出入口为打开 状态时,与该打开状态的出入口邻接的位置的所述热处理室内的静压比所 述出入口为打开状态前的压力低的排气装置。
2.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,调节所述排气装 置的排气能力,以使任意一个出入口为打开状态时,与该打开状态的出入 口邻接的位置的所述热处理室内的静压为该热处理室的外侧的大气压以 下。
3.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,
具有用于将气体从热处理室内向外侧排出的排气口,
根据处于打开状态的出入口和所述排气口的距离调节排气装置的排 气能力。
4.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,
具有用于将气体从热处理室内向外侧排出的排气口,
在距所述排气口近的区域A、及相对所述排气口比所述区域A远离 的区域B并列设置有多个出入口,设于该区域A、B的所述出入口以规定 的顺序进行开闭,
进行调整,使得以配置于所述区域B的出入口为打开状态的时机作为 基准的规定期间中的所述排气装置的排气能力比以配置于所述区域A的 出入口为打开状态的时机作为基准的规定期间中的所述排气装置的排气 能力高。
5.如权利要求4所述的热处理装置,其特征在于,
区域B相对于区域A位于上方,
在热处理室的下方侧的位置设置有排气口。
6.如权利要求1~4中任一项所述的热处理装置,其特征在于,排气 装置的排气能力的调节在多个出入口的任意一个为打开状态前完成。
7.如权利要求1~4中任一项所述的热处理装置,其特征在于,
在与构成热处理室且设置有出入口的壁面邻接的位置设置有排气口,
通过排气装置,经由所述排气口可以将所述热处理室内的气体向热处 理室外部排出。
8.如权利要求1~4中任一项所述的热处理装置,其特征在于,在出 入口和热处理室之间设置有比热处理室的内侧及外侧的气压更低的低压 区域。
9.如权利要求1~4中任一项所述的热处理装置,其特征在于,调节 排气装置的工作状态,以使全部的出入口为关闭状态时,排气装置成为排 气流量为规定的最小流量的状态、发挥各出入口打开时调节的排气能力当 中的最小排气能力的状态、或停止状态的任意一种状态。
10.如权利要求1~4中任一项所述的热处理装置,其特征在于,排 气装置由送风机和变换器构成,通过变换器控制能够调节排气能力。
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