[发明专利]光波导路装置的制造方法

摘要

本发明提供一种光波导路装置的制造方法，其即使在金属制基板的表面形成光波导路，也能抑制该光波导路的芯侧面的粗糙化。在表面形成为粗糙面的金属制基板(1)的表面形成含有照射线吸收剂的下敷层(2)，或者在形成不含有照射线吸收剂的下敷层之前形成照射线吸收层。并且，在之后的芯(3)形成工序中，对芯(3)形成用的感光性树脂层照射并透过了该感光性树脂层的照射线被含有上述照射线吸收剂的下敷层(2)或照射线吸收层吸收或减弱。

主权项

1.一种光波导路装置的制造方法，其是包括以下工序的光波导路装置的制造方法：在呈粗糙面状的金属制基板的表面形成下敷层的工序；在该下敷层的表面形成芯形成用的感光性树脂层的工序；对该感光性树脂层照射照射线并曝光成规定图案，将该曝光部分形成为芯的工序，其特征在于，在上述芯形成工序中，对上述感光性树脂层照射的照射线是透过该感光性树脂层到达上述金属制基板的粗糙面状表面、并在该粗糙面状表面进行反射的照射线，在上述下敷层中含有吸收上述照射线的照射线吸收剂。