[发明专利]弯曲结构金属连线缺陷的检测方法

摘要

本发明提出一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法包括：先把弯曲结构金属连线的首末端接相同电位，然后用带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的金属直线部分，并通过作出电流变化曲线确定缺陷的种类和位置范围，再通过纵向检测并分析电流变化曲线，最终确定弯曲结构金属连线缺陷的精确位置。该方法由于采用带电电子束或带电离子束进行检测，使检测的空间分辨率从微米级提高到纳米级，基本不受缺陷的材料的影响，能检测微小缺陷引起的很小的电阻变化，并通过横向检测缩短了弯曲结构金属连线缺陷的检测时间，极大地提高缺陷分析效率。

主权项

一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法包括：弯曲结构金属连线两端为输出端并接相同的电位；带电粒子束沿与金属直线垂直的方向横向检测弯曲结构金属连线的金属直线上各点，通过横向电流变化曲线变化确定缺陷的种类和位置范围；带电粒子束在确定的缺陷位置范围内沿金属直线的方向纵向检测弯曲结构金属连线的金属直线，通过纵向电流变化曲线变化对缺陷位置进行精确定位。