[发明专利]弯曲结构金属连线缺陷的检测方法

权利要求书

1.一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法包括：

弯曲结构金属连线两端为输出端并接相同的电位；

带电粒子束沿与金属直线垂直的方向横向检测弯曲结构金属连线的金属直线上各点，通过横向电流变化曲线变化确定缺陷的种类和位置范围；

带电粒子束在确定的缺陷位置范围内沿金属直线的方向纵向检测弯曲结构金属连线的金属直线，通过纵向电流变化曲线变化对缺陷位置进行精确定位。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带电粒子束是带电电子束或带电离子束。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带电粒子束带有恒定束流。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述横向电流变化曲线是各输出端电流与对应金属直线上各点位置之间的对应关系，该对应关系可以为：各输出端电流，各输出端电流线性组合以及上述各输出端电流或各输出端电流线性组合随检测点位置改变的变化率与对应各点位置的关系。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带电粒子通过电流变化曲线变化确定缺陷的种类和位置范围为：

当横向电流变化曲线斜率不变，金属连线上没有缺陷；

当横向电流变化曲线斜率增大，缺陷种类为孔洞或杂质缺陷，其位置范围是跳变点之间的金属连线；

当横向电流变化曲线斜率减小，缺陷种类为短路缺陷，其位置范围是跳变点之间的金属连线。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述各输出端电流是取对应金属直线上某一稳定点的电流，稳定点附近若干点的平均电流，或各点的最大电流。

7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述电流线性组合为两输出端电流的差值。