[发明专利]光电探测器固定装置有效
| 申请号： | 200910198565.4 | 申请日： | 2009-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101718957A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 苏海业 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种光电探测器固定装置，用于将光电探测器固定在光刻装置中，光电探测器具有中心轴线，其一端为探测面，另一端为管脚。固定装置包括：中空圆台、固定座和顶块。中空圆台为以中心轴线对称的筒状结构，中空圆台包覆光电探测器，中空圆台外表面半径自探测面至管脚方向均匀增大。固定座固定在光刻装置中，固定座具有楔形开口，楔形开口的内壁形状与中空圆台的外表面相对应，包覆中空圆台的外表面。顶块包括压紧块和锁固件，锁固件锁合于固定座，锁固件抵压压紧块，压紧块抵压光电探测器具有管脚的一端和中空圆台。本发明所提供的固定装置适用于固定需要不断运动且运动稳定性要求高的光电探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 探测器 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种光电探测器固定装置，用于将光电探测器固定在光刻装置中，上述光电探测器具有中心轴线，其一端为探测面，另一端为管脚，上述管脚焊接在电路板上，其特征在于，固定装置包括：中空圆台，为以中心轴线对称的筒状结构，上述中空圆台包覆上述光电探测器，上述中空圆台外表面半径自上述探测面至上述管脚方向均匀增大；固定座，固定在光刻装置中，上述固定座具有楔形开口，上述楔形开口的内壁形状与上述中空圆台的外表面相对应，包覆上述中空圆台的外表面；以及顶块包括压紧块和锁固件，上述锁固件锁合于上述固定座，上述锁固件抵压上述压紧块，上述压紧块抵压上述光电探测器具有管脚的一端和上述中空圆台。
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