[发明专利]光电探测器固定装置

权利要求书

1.一种光电探测器固定装置，用于将光电探测器固定在光刻装置中，上述光电探测器具有中心轴线，其一端为探测面，另一端为管脚，上述管脚焊接在电路板上，其特征在于，固定装置包括：

中空圆台，为以中心轴线对称的筒状结构，上述中空圆台包覆上述光电探测器，上述中空圆台外表面半径自上述探测面至上述管脚方向均匀增大，且其为弹性材料；

固定座，固定在光刻装置中，上述固定座具有楔形开口，上述楔形开口的内壁形状与上述中空圆台的外表面相对应，包覆上述中空圆台的外表面；以及

顶块包括压紧块和锁固件，上述锁固件锁合于上述固定座，上述锁固件抵压上述压紧块，上述压紧块抵压上述光电探测器具有管脚的一端和上述中空圆台。

2.根据权利要求1所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述光电探测器的上述探测面自上述楔形开口露出。

3.根据权利要求1所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述压紧块和上述锁固件为一体成型。

4.根据权利要求1所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述中空圆台的材料为橡胶。

5.根据权利要求1所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述中空圆台的筒壁开有槽口，当上述光电探测器的尺寸变化，上述中空圆台利用上述槽口改变自身内外径尺寸充分包覆上述光电探测器。

6.根据权利要求1所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述压紧块具有内孔，上述光电探测器的管脚通过上述内孔焊接至上述电路板上。

7.根据权利要求6所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述压紧块具有槽口，上述槽口将上述内孔沿上述压紧块的径向贯通至上述压紧块外，装配时将上述压紧块从侧边装配于上述光电探测器与上述电路板之间。

8.根据权利要求1所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述固定座具有螺纹孔，上述锁固件利用螺钉锁合于上述固定座，上述螺钉调节上述顶块与上述固定座之间的距离。

9.根据权利要求1所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述锁固件具有空腔，形成容置空间容置上述电路板，上述锁固件为金属材料，对电路板进行电磁屏蔽。

10.根据权利要求9所述的光电探测器固定装置，其特征在于，其中上述顶块具有电路板压圈固定在上述锁固件的空腔内，抵压上述电路板上与管脚连接的表面的相反表面。